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技術專文

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Abstract TSMC 導入了在線式局部放電監控技術 (on-line PD) ，於主高壓設備監控，期能早期偵測出異常前兆，
降低高壓元件故障影響之事故發生。量測技術為高頻電磁場量測法 ( 近十幾年來局部放電偵測技術的主
流 )，其最大的缺點為檢測時易受雜訊干擾，諸如檢測環境周遭空氣中高壓電導體之電暈、開關突波、
行動電話、雷達、電視及其他無線電設備等產生之超高頻訊號，均可能影響檢測設備判讀之正確性，且
早期高壓配電站設計，站內附近有電信設備，不斷電電源、電腦伺服器、直流充電機等干擾源，這些背
景雜訊都可能墊高局部放電偵測的能量值，致使誤警報發生。故進行局部放電監控安裝前，應先量測或
了解背景雜訊干擾頻率範圍、強度並予以降低，將非屬高壓設備實際產生之部份放電訊號予以排除。本
文由理論出發，透過屏蔽與接地改善實驗降低背景雜訊能量值，降低系統誤警報的發生。

關鍵詞/ 局部放電監控、局部放電感測器、電磁干擾
Keywords/ On-line PD, PD Sensor, EMI

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