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Background Noise
Reduction of
HV Partial
Discharge
Monitoring System
高壓系統局部放電
雜訊背景改善
文│賴柏青│南科廠務一部│
前言
局部放電（Partial Discharge，PD）現象為一種絕緣崩潰現象 [2]~[8] ，
僅發生在絕緣材料中電場強度過大的局部區域。局部放電現象可視為
絕緣材料老劣化的一種表徵，若未適切地處理局部放電現象，則將加
速絕緣材料劣化，導致絕緣材料的整體崩潰。大部份的高壓設備事故
多肇因於絕緣瑕疵。由於絕緣材料內部的瑕疵會導致局部電場過大，
進而產生局部放電現象，傳統週期性的人工活電局部放電量測無法讓
設備事故率降為 0 %。為了應付崩潰時間較短的瑕疵類型，活電局部
南科十四廠三期高壓系統 攝影/賴柏青 放電量測為目前最有效之絕緣瑕疵的檢測手法。活電局部放電監控為
目前台積的最佳化方案。藉由長時監控局部放電訊號的變化，可以快
速發現絕緣材料的異常變化，即時避免事故的發生。以十四廠為例，
每年替十四廠即早期檢測出一件異常，其重要性與價值可想而知。
圖1 為部份放電的電壓變化及電流波形 [2] ，由圖中可以清楚地比較，
不同於正弦波的平緩，放電的電壓變化及電流波形為崎嶇陡變，電
磁放射就是在這種陡變的行為發生。若我們特意檢視局部放電的電流
目前在南科廠務一部儀電課。
柏 青
經歷：2013 Idea forum 紅蘋果獎 ( 廠務第一次獲獎 )。
期許能在儀電專業裡繼續學習，組織專業團隊，帶領團
隊成長。
賴 Po-Ching Lai
300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2017 7
