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圖 2、UPS 電壓偵測設置及量測點位置示意圖

E9~E11
E6~E8
R R
Bypass Output
S S STS
Output
T T
N N
9395 Input Load
G G INV Bank
MX Source
UPM
cable
N 9395
G ESS

3 Phase bypass UPM INV
V,I measure I measure
DL850 3 Phase O/P
16 Channel V measure

表 1、SEMI F47 與 IEC 61000-4-34 壓降測試點比較

SEMI F47 IEC 61000-4-34
Voltage Sag Voltage Sag Duration Voltage Sag Voltage Sag Duration
% of Nominal Voltage Second(s) Cycles at 60Hz % of Nominal Voltage Second(s) Cycles at 60Hz

50% 0.2 12 40% 0.2 12

70% 0.5 30 70% 0.5 30
80% 1 60 80% 1 60

A 類（壓降程度最輕微），右邊區
圖 3、SEMI F47 壓降曲線及壓降分類
域壓降條件歸類為 B 類，意即半導
體設備必須能夠容忍 A 類及 B 類壓
100%
降而不受影響。 圖3 藍色曲線下方
90% 區塊以 1 秒為界，左邊區域壓降條
件歸類為 C 類，右邊區域壓降條件
80%
歸類為 D 類（壓降程度最嚴重），
B類
70% 根據規範，半導體設備遭遇 C 類
Nominal Voltage Ratio 60% A類 D類 的角度來看，輸出電壓必須維持在
或 D 類壓降可能會受影響。以 UPS
SEMI F47 曲 線 上 方， 因 此 9395
50%
40% UPS 遇壓降從節能模式切換至不斷
電模式時，輸出電壓的擾動程度必
C類
30% 須要能符合 A 類或 B 類的規範。
提 到 SEMI F47 時， 經 常 會 與 IEC
20% 61000-4-34（EMC 規範中對於壓
降的耐受度）相提並論，此兩項標
10%
SEMI F47壓降曲線
準有著相當程度的雷同，其中針對
0% 壓降測試點的定義有個較明顯的差
0.01 0.1 1 10
Duration (sec) 異在於 0.2 秒的壓降持續時間所對
應 到 的 降 幅 不 同， 如 表1 所 示，

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2017 17