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圖 17、Group E 測試結果繪於 IEC 62040-3
0.1 1 10 100 1000
100
80 TSMC Test Results
1/2 Cycle RMS Measurements
60 Test Sections E
40
20
0
-20
OV Limit E7
UV Limit E11
-40 E1 E4
E5 E8
E9 E12
-60 E2 E25
E6 E26
E10 E27
-80 E3 E28
-100
圖 18、Group F 測試結果繪於 IEC 62040-3
0.1 1 10 100 1000
100
80 TSMC Test Results
1/2 Cycle RMS Measurements
60 Test Sections F
40
20
0
-20
OV Limit F7
UV Limit F11
-40 F1 F4
F5 F8
F9 F12
-60 F2 F25
F6 F26
F10 F27
-80 F3 F28
-100
300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2017 23
