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技術專文

表 1、十二吋晶圓廠廠務控制系統區分表

水處理系統 機械系統 儀電系統 氣化系統

UPW WWT LSR PCW CR AAS Chiller PA Gen. UPS 電梯 GAS CDS SDS

PLC V V V V* V* V* V V V V V V V V
DCS V V V
*系統控制為DCS，但單台設備中皆含有PLC

運轉中常常遭遇的問題，例如製程
圖 1、PLC 控制系統
不斷演進，相對的廠務系統亦不斷
的擴充，PLC 程式隨著修改，但當
遇到需要重新更新下載程式時，若 系統監控平台 系統監控平台 系統監控平台
選擇錯誤的程式版本將會造成嚴重
的損失。
PLC PLC PLC

設備/儀表 設備/儀表 設備/儀表
PLC 管理平台

圖 2、選擇系統中網路
一個十二吋晶圓廠廠務的 PLC 控制
系統如 圖1 ，為解決運轉上遇到之
問題， PLC 管理平台須包含以下
的特點：
– 文 件 管 理 (Document Manage-
ment)：集中地歸檔電子檔及資
料夾，方便使用者存取，不因
人員變動或時間而遺失需重新收
集。

– 備 份 與 有 效 監 管 (Backup &
Monitor)：可週期性的自動備份，
並依時間版本建立備份檔案，不
需額外人力進行亦不會遺漏。

– 系統異常回復 (System Recovery
Instruction)：再發生異常時可以
以最短時間內找到最新版本之軟
廠牌之 PLC，以兩個系統搭配來達 稱、版本、類型、廠牌、韌體版本、
體及正確之硬體版本進行異常回
到我們所需之管理功能。 序號等系統資訊完整的取得，更可
覆。
以將結果匯出成檔案方便後續統計
– 變 更 管 理 (Change Manage- 廠區 PLC 各種版本之卡片，進行
ment)：針對控制器等控制設備 線上硬體及韌體掃描工具： 使用量與安全庫存建立之依據及根
集中管理，有許可權限之用戶可 System Ferret 據系統提供的資料訂定汰舊換新計
以進行登入、登出，並追蹤其操 畫。
一個獨立運作之程式，其利
作紀錄。
用 RSLinx 可 以 將 系 統 上 CIP 以廢水系統安裝導入測試為例，安
為達上述功能及可支援廠區內不同 Networks 網路中每一個硬體之名 裝後執行會出現如 圖2 之運作畫

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