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廠區，若能將此經驗灌入資料庫，
圖 7、能源管理架構圖範例
透過工程師匯入的相關資訊，並
由電腦自行判斷，發展出電腦的
人工智慧，即可做到當有警報觸發
後，即可在圖控軟體顯示可能造成
警報之原因，並可選擇相對應處理
能源管理及耗能分析
SEM
方法，讓值班工程師有更精確的判
斷。

資料標準化處理 範例二：品質預測系統
SED SED
廠務有很多極為重要且會直接影響
產能的條件 ( 量測點 )，例如無塵
室溫溼度、純水壓力等，然而會影
Power MES CIP 9000 資料蒐集 響此條件的因素不少，往往品質異
SCADA tsmc-SI
常時都已無法救貨。若能透過大數
DCS FMCS CIP 1000 CIP 1000
據的資料分析，預先發現影響條件
的因素已出問題，則可當作預先指
能源使用
量測 標，使廠務工程師提前修復或是
提前預警設備端停機，防止問題擴
大，保護公司資源，如 圖8 所示為
廠務端 機台端
品質預測示意圖。

感測器物聯網應用
圖 8、品質預測示意圖
在工廠內，影響生產的大多是未見
因素，比如設備性能衰退、精度的
缺失、資源的浪費等。而可見的影
預先防堵 領先指標 SPC點 落後指標 發生後補救 響因素往往是未見因素累積到一定
程度所引起，比如設備衰退導致停
機、精度缺失造成品質偏差。因此
往前看一層 UPW OOC 對這些未見因素進行預測和管理是
分析 PCW MS
factorA CR RSR 避免可見因素的關鍵。
factorB AAS SMP
factorC AMC
Gas 範例一：轉動設備監診技術
Chem
我們知道機械設備內含許多轉動設
備，若能將轉動設備安裝震動檢測
儀表，透過整合平台評估設備健康
狀況，建構有效的動態預防保養策
圖 9、轉動設備監診示意圖 略，降低機台故障異常的機率。根
據經濟部能源局，更換高效率馬達
最高可節省 29% 工業用電！若能
使用高效率馬達，透過市面開發 I/
Wireless AP
O 模組以無線傳輸回傳至中控室電
Wireless
Switch 流監控，分析耗能馬達並有效規劃
EKI-5528
更換為高效率馬達以達節能效果，
Ethernet 如 圖9 所示。

Wireless
自動化機械、廠務設備智慧化
EKI-6311x8
現行的設備雖大多已自動控制化，
設備本身卻沒有任何思想，只是接

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2017 67