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300mm FABS

FACILITY JOURNAL

SEPTEMBER/2017
L.27
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O

TSMC / 300mm FD PUBLISHED URL.http://nfjournal/
NEW FAB ENGINEERING

300mm F ABS F ACILITY JOURNAL

新世代廠務系統

運轉的創新與突破
廠務在晶圓生產過程中扮演穩定基石的角色，一方面要供應高品質的水、電、
氣、化，另一方面在節水減廢的相關環保議題也要持續不斷精進。本期季刊
針對水氣化系統如何在既有的運轉基礎上，提出穩定運轉防禦對策以降低風 廠務自動化與智能化之應用
Application of Factory Automation and Intelligentization
險，並討論新世代廠務系統如何導入自動化、智能化，提升化學品原物料更 Vol.
桶裝化學品高效供酸新架構
換效率與安全性之創新思維，分享水氣化系統努力的成果與未來發展方向。
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Vol.27
Drum's Hyper Logistic (DHL) System for Chemical Drum
業界廢水零排技術與機會點
The Technology and Opportunity of Zero Liquid Discharge
DECEMBER 2015
SEPTEMBER 2017
牽手愛地球，本刊物採用來自於良好管理
森林的環保用紙及無毒大豆油墨印製。 Fabs Facility Division
封面圖片/化學品原物料無人化更換概念圖 繪圖/洪湘寧 封底照片/中科十五廠五期零排放重要單元逆滲透系統 攝影/洪湘寧