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表 4、各管道 PM2.5 質量濃度及成分分析

項目 內容

2015採樣日期 5月26日 5月28日 6月1日 6月8日 6月11日 6月15日 6月22日

Submain FSED-LB1-103 FSED-LB1-105 FSED-L10-106 FSED-L20-102 HSED-L30-108 HSED-L30-106 FSED-L10-103
製程 BE Bench (STD) DIF nitride CVD SiH 4 base tool IMP (FSI) ECP Cu CMP FE Bench, Dry etch
PM2.5 avg.conc.(ug/m ) 3 88.7 208.3 365.5 4508.0 169.0 45.0 402.6
元素及離子佔PM2.5比例(%) 18.4% 24.9% 28.2% 83.8% 39.9% 67.3% 55.0%

圖11、FSI排放粒徑分佈百分比 表 5、水渦流機對於不同粒徑之去除效率

項目 內容
2.5~10 1.0~2.5 0.4~1.0 0.1~0.4 < 0.1 m
100%
Powder
18% 22% diameter 0.3μm 0.5μm 1μm ≥5μm
24% 32% 25% 25%
80%
Removal 60% 75% 90% 95%
所佔百分比 (%) 40% 76% 60% 64% 63% 61% Pressure 1250 1250 1250 1250
efficiency
60%
drop -Pa

20% 68%
20% 17%
0% 11% 12%
0%
air 1 2 3 4 5 total
採樣位置 avg. PM2.5之83.8%，由此可知管道中
PM2.5主要成分為FSI產生之硫酸銨
鹽類。因此，水渦流機主要針對於
高溫硫酸FSI機型之廢氣進行源頭
圖12、水渦流機對不同粒徑之集塵效率曲線圖
削減。
100
由工研院使用電子式低壓衝擊器
90 (Electrical Low Pressure Impactor,
ELPI)進行管道之粒徑分析(如 圖
80 11)，發現FSI產生白煙粒徑主要為
集塵效率 (%) 70 0.4µm以下佔80%(藍色及綠色區

60
塊)，比對水渦流機效率檢測結果
50 (如 表5、圖12)，大於1µm粒徑其去
除效率可大於90%，但對於0.3µm
40
以下微粒處理效率不佳僅有60%去
30
0.1 1 3 除效率，顯示水渦流機並無法完全
粒徑 ( ) 去除FSI所產生之粒狀物污染物。

改善方式及後續研究發展
FSI機台裝設水渦流機。後續導入 和，提供較佳的液、氣混和效果及 經過一年多的改善與努力，終於進
目前廠內處理硫酸銨微粒之新式設 粉塵捕捉效率。取代傳統灑水式洗 入空污設備檢測階段。透過數據
計「水渦流機」，水渦流機為獨 滌塔。根據各Submain PM2.5質量 顯示，「氨氣」(NH 3 )、「硝酸」
特離心氣旋裝置，藉由風機牽引 濃度採樣分析結果顯示(如 表4 ，以 (HNO 3 )、「氫氟酸」(HF)、「鹽
氣流及桶槽存水產生氣旋水霧，進 FSI Submain測得之PM2.5濃度最 酸」(HCl) 四大指標排放物種確
3
而使水霧化與空氣有效率接觸混 高4508µg/m ，而其元素及離子佔 認獲得有效控制。但是「硫酸」

300mm FABS FACILITY JOURNAL JUNE 2018 91