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Notes
技術專文

(H 2 SO 4 )和「磷酸」(H 3 PO 4 )，卻需
圖13、高溫硫酸製程硫酸銨鹽削減設備架構
強化改善！
經檢討比對製程機台後，得出兩個
水渦流機削減率 50% HEPA 水力薄膜
結論： >0.1 m效率95% >1µm 效率80%
4台FSI 進入SEX濃度稀釋80倍
– 硫酸(H 2 SO 4 )來源為高溫硫酸酸 質量梯度：WAS
120 mg/m 3 60 mg/m 3 0.75 mg/m 3
槽製程，由於此製程會產生大量
質量梯度：NOW
硫酸銨鹽微粒，難以被濕式洗滌
120 mg/m 3 60 mg/m 3 3 mg/m 3 0.038 mg/m 3
塔去除。
渦流氣泡攔截 HEPA一網打盡
– 針對高溫硫酸產生的硫酸銨鹽， 較大微粒
則提出：分流水霧、水渦流機、
現址型高效率空氣過濾網(High
Efficiency Particulate Air filter， 水力薄膜最後防線
以下簡稱HEPA)及水力薄膜四道
關卡來破解 圖13、圖14、圖15 。

HEPA技術是將所有細小的微粒全
面攔截，但過去此類型應用始終礙
圖14、高溫硫酸製程硫酸銨鹽削減模型
於「材質腐蝕」及「堵塞產生壓
差」兩種問題，遲遲未導入商用
階段。然而，在新空污標準下，本
研究導入「線上反洗再生式PVDF
HEPA」裝置進行微粒減量實驗。

PVD F 材質具有優秀的耐酸鹼特 outlet
性，已廣泛用於硫酸管路之輸送， bypass inlet
能確保不被硫酸銨微粒蝕穿。
HEPA堵塞問題則透過硫酸銨鹽類
易溶於水之特性，在系統壓差上 Vortex
升時至超過1600pa時進行注水反
1500CMH×4
洗，成功將維護週期延長至1個月
以上 圖16。

確保系統可行性之後，再邀請工研
院進行HEPA效率驗證，證實此現
址型HEPA針對所有銨鹽類微粒可
達成總質量99.7%之捕集率，個別 圖15、高溫硫酸製程硫酸銨鹽削減實體流程圖
粒徑之效率可參照 圖17 。
FSI 水薄膜濾網安裝至SCR前置，
nd
HT H 2SO 4 Bypass 1 st 填充層及2 填充層
+NH 4OH
Bypass
結論 VFD VFD

加壓風車
加壓風車
近來空污議題所獲關注與重視，因 水渦流機 HEPA過濾懸浮粒徑 酸性洗滌塔
著PM2.5此項污染物在反石化開發
案中被模擬而產生健康影響的論
述，更在環保、公民團體透過遊
行運動等訴求發展下，帶起了空污
的論述，不僅將工業廠區或發電廠
等空污大戶問題拋出，同時也在民
間針對此議題持續的滾動，成為政
府推動政策的重要力量。本文以

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