Page 14 - Vol.31

Tech
Notes
技術專文

New Generation

Chemical

Coupler Booth

Design

新世代化學品灌充口設計

隨著半導體製程持續演進，槽車化學品用量不斷被提高，化學品灌充作業人力也逐年上升；過去也曾因為
外部環境品質影響，造成灌充前取樣量測不穩定。本文主要說明如何應用滑軌、氣壓缸與訂製夾具等動力
元件於化學品灌充設備中，來設計架構簡單、易操作及防呆的自動化流程，將流程簡化以提升作業效率。
另外藉由導入小環境無塵化的概念，在效率提升的同時增加品質的穩定性，維持灌充口設備的潔淨度。預
期在 2018 年將會投入測試及修正，讓公司在少子化、自動化的時代，可以有一項兼顧效率與品質的新選擇。

關鍵詞/ 化學品灌充口、自動化、小環境無塵化
Keywords/ Chemical Coupler Booth (CCB), Automation, Mini Clean Environment

2
2
2
1
1
文│潘耿輝 張育正 黃介然 │ 新廠工程管理部 新廠設計部│
前言 長。
同時，我們也希望將過往造成作業上困擾的問題
一併改善，即是提升灌充環境品質。過去灌充口
化學原物料用量需求隨先進製程的突破愈來越
的位置設計主要都是在戶外，即使是最新的中科
大， 圖1為統計計各世代硫酸用量的分析，單一晶
十五B廠設置在房間內，相較於化學原物料供應商
片的用量不斷變高，因此灌充次數及相關的人力
也大幅增加。例如長春化工的南區灌充手已經從 在一個有的HEPA封閉的環境中，仍有潔淨度上的
2013年7人迄今已增加到20人。除了廠商的灌充 差異(Class 10,000比Class 1,000)。如 表1顯示，
手外，廠務於每次灌充也須派出監管確認人員， 2017年仍有11件以上槽車因灌充接合過程退車。
因此對人力的需求也是逐年提高的。所以我們希 因此，灌充接管環境的優化也是設計的目標之
望開發自動化灌充流程以減緩人力成本的需求成 一，以期符合未來更新製程發展的需求。

空拍、旅行與足球愛 在工作中尋求創新， 愛山、玩相機、也愛宅
耿 輝 潘 K.H. Pan 好者。期許自己跳出 育 正 在生活中追求不凡， 介 然 在家裡玩 3C ─果粉族。
框架、挑戰新技術， 張 Y.C. Chang 持續創新為工作注入 黃 Andy Huang 座右銘為「行於所當
玩出新滋味。 源源不絕的動力。 行，止於不可不止」。

14 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 15
化學品灌充口測試機台 照片提供/信紘科技 影像處理/洪湘寧