Page 16 - Vol.31

Tech
Notes
技術專文

表 1、2017 化學品槽車退車紀錄 圖3、HOSAN自動化CCB：接頭保護蓋自動開啟

Item Y2016 Y2017 Y2018
M701 M702 M703 M704 M705 M706 M707 M708 M709 M710 M711 M712 M801 M802 M803 M804

退車數 11 0 0 1 1 0 2 1 1 1 0 1 0 0 0 0
退車廠區 F15 F12 F15P5 F14 F15 F15 F15 無 退 車
P2 P4 F14P4 P2 P2 P5 P5
KM KM KM PPC KM BASF KM
DIW Flush F14 F12P1/2 F12P4/5 F12P6 F15P5/6
Turn-on P5/6/7 F12P7 F14
P1/2/3/4
Thinner-1 3 F14 F12 F14 F12 F12 F15P2
退車廠區 P5 P0 P4 P2 P2 F12P4
TOK TOK TOK TOK TOK 圖4、供應商化學品灌充環境與設備設計原則 圖5、供應商接頭清洗流程

NTD 0 F12 F12 F15 外氣
退車廠區 P7 P7 P5A HEPA
HEPA
正壓
圖1、Lorry化學品(H 2 SO 4 代表)用量隨著製程演進不斷攀升 圖2、行政院勞工委員會化工安全作業
標準流程建議 正壓
1.2 18
槽車至裝卸料區指定位 Chemical
Utility Compare Based On N4X =1 16 Coupler
1 Hose
14 Lorry
熄火並交出鑰匙保管
0.8 12 充填站
10 放置車輪擋固定
0.6
8 圖6、化學灌充接頭接合前清洗
接妥接地線、灑水加濕
0.4 6
4 連接輸送管
0.2
2
卸料閥開啟
0 0
N4X N28 N16 N10 N7+ N5(預估)
用量(H 2SO 4) 啟動泵浦開始作業

確認原料輸送狀態

停止輸送，作業完成 品的規劃，除了品質量測技術外、
文獻探討 也是必須遵守的程序。我們也訪查 CCB母接頭塞頭洗淨 CCB母接頭洗淨 Cap放於 整體供應系統及其元件必須也要
業界作業方式有無可效法之處，但 CCB內 往消除particle方向發展，如 表2所
安全標準上看來仍是一致的。 示。因此我們審視整體槽車化學系
本研究文獻主要透過政府規範及業 統如 表3後，主要為灌充接管部分
在2017年的半導體展中，我們發 我們確信了自動化可以達成，但同
界實務來探討作業安全及品質的設 現在有廠商已經發展自動化灌充接 時我們也在想：是否有更簡易的方 有接觸環境風險，因此我們將會納
計規範，也透過參訪半導體展學習 管的創新應用，並且在海外已有實 式呢？因為這個設計的複雜度相當 入這兩點做為設計的基礎概念。
業界導入自動化實務案例。本段就 績。這讓我們在灌充流程作業自 高，也使用了相當多的自動化元 說的，過度依賴的自動是敗筆(Elon 的正壓無塵環境中進行接管作業 圖
安全、自動化與品質三方面來探討 動化上更有信心，如 圖3所示其設 件，將會提高維護的複雜度。因 Musk, @elonmusk, 2018/4/13)； 4；二則為灌充管路接合前，針對
設計方向。首先，化學槽車灌充作 計主要是利用機器手臂、滑軌與氣 此，我們會取自動滑軌移動公頭， 因此在應用上循序漸進保留小部分 接頭先作純水清洗加強清潔 圖5，
業主要是參考行政院勞工委員會化 壓缸等元件組合的應用，讓人員將 與母頭自動開關保護蓋的優點，來 目前在既有廠區也已導入執行，可 研究方法
人為作業，以確保非預期異常可被
工安全作業標準參考手冊第三章 圖 公頭放置在固定位置後即可離開， 作為我們未來設計的基礎；至於機 參考 圖6；在 圖6中也可看到，灌
檢知。
2 ，來定義大用量化學品的傳輸與使 之後透過滑軌將公頭往前推進到定 器手臂，我們認為可以透過部分人 充口在戶外確實會在接頭上殘留髒
用方式，其中管路銜接部分主要依 點後，機器手臂會來夾取公頭進行 為來進行，畢竟此設計還是需要人 而品質管理方面，在參訪數家主要 汙，即使灌充前會有化學品沖洗等 呼應文獻根據前段討論，我們設定
靠人力執行；這些程序都是基於安 接合動作；在接入母頭之前，其保 去放那個公頭。就如同Elon Musk 供應商之後，我們發現有兩個值得 程序，但仍有疑慮。另外根據ITRS 了兩大方向來設計新系統：透過自
全而訂出，因此即使導入自動化， 護蓋自動打開後再進行接合。這讓 說在解決Tesla Model 3生產瓶頸時 學習的地方：一是在HEPA過濾後 2.0半導體技術發展針對液態化學 動化來精簡接管作業與環境無塵

16 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 17