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技術專文

圖5、VOC廢熱回收模廠設備現場安裝照片 表 2、IPA 廢液模廠測試結果 圖7、IPA廢液模廠測試照片

Sample IPA廢液原液 回收液IPA 排放水IPA
濃度(%) 濃度(%) 濃度(ppm)
VOC 處理設備
自行調配 14.8% 87.3% 36

W-IPA 進料 Hot water (45˚C) Hot water (86˚C) 蒸餾排放水取樣
10.4% 85.7% 68

1.1% 86.2% 46
圖8、廢熱回收模廠測試照片
熱水循環槽
1st 熱交換器 F14B 廢液 11.3% 84.6% 40
鼓風機
2nd 熱交換器 循環泵 F15B 廢液 14.5% 85.0% 15

圖6、IPA廢液蒸餾溫度vs.操作壓力曲線圖
熱水溫度 (90˚C)
120

y = 26.801 ln(x) - 20.83
100 R 2 = 0.9784
45, 86 101.3, 100
80

溫度 ˚C 60 熱水循環槽，已呈沸騰狀況 熱風溫度 (78˚C)

40 12.5, 45

20
結論 參考文獻
0
0 20 40 60 80 100 120 [1] 台灣積體電路製造股份有限公司，2017
驗操作壓力 (kpa) Water Workshop 簡報資料。
[2] 王春盛，半導體高濃度廢水之高級氧化
本研究結果顯示，使用低溫負壓 處理與有機廢液之異丙醇回收元智大學
化學工程碩士論文。
蒸餾法確實可將廢IPA進行減廢回
[3] 張俊彥，積體電路製程及設備技術手
收成有價商品，廠內再生比例達 冊，1997中華民國產業科技發展協進
會。
100%，且使用回收廢熱，無需浪
水，設備運轉負壓值則需提升到 蒸餾法中IPA不會被氧化丙酮之疑 廢熱回收模廠測試結果說明
費額外能源，減廢、節能等優點兼
10~15kpa。 圖6為不同溫度之熱 慮，而其IPA濃度均可小於70ppm
在廢熱回收實測中，我們驗證高達 具。目前此技術即將應用於中科廠
源與其對應之操作負壓曲線圖。熱 以下，換算成COD則為175ppm，
180℃VOC處理設備廢熱可透過熱 區，且已屆發包階段。
源溫度約低，其操作壓力須越小， 而一個廠每日廢水放流排放量約在
交換器將循環水加熱至90℃，超過
亦即真空度越強，相對而言，真空 4000CMD，其貢獻均在10ppm以 蒸餾技術為石化業所常用之技術，
我們所預定之85℃目標。其位於
Pump耗電量亦隨之上升，因此回 下，對放流之影響甚小。因此確認 而在公司大力推行廢棄物再製回供
Fab棟頂樓，位置偏遠，但透過水
收之廢熱源溫度不宜過低。 其無二次污染問題，不會將污染轉 本業使用(循環經濟3.0版)之目標
為媒介物加以回收，再以熱水的方
嫁至廢水廠。另值得一提是在檢測 時，台灣發展已久之石化業，已累
另外在自行調配不同濃度之IPA原 式輸送至各個之需求端。而另一測
F14B、F15B之廢液原液時，意外 積許多相當豐富之技術以及經驗，
液(範圍：1.1~14.8%)以及F14B、
檢測到均有雙氧水之存在，因雙氧 試則是將這股熱水再經過另一個熱 是值得我們作為借鏡、學習以及應
F15B廠區之W-I P A廢液進行測
水為氧化性物質，在蒸餾過程中收 交換器（水對氣），亦可將鼓風機 用。
試，其測試結果如 表2所示。成品
熱後可轉化為氧氣，將增加操作風 所鼓出之空氣加熱到75℃．其可應
之IPA成分均可達到所要求85%以
險，此一發現，增設一雙氧水去除 用在廠內之污泥乾燥或是硫酸銨之
上，減積比例達80%以上。而我
單元 圖7 。 濃縮。其增加廢熱之應用面 圖8 。
們對於蒸餾後之排放水進行分析，
丙酮未被檢出，表示此低溫負壓
70 300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2018 71