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Tech
Notes
技術專文
A Case Study on
Improvement to
Mixed
Acid
Exhaust
System for New
Process Tools
先進製程酸性排氣
混排改善對策探討
前言
半導體製程中，為了要進行蝕刻、乾燥或清潔等步驟，經常
會使用大量的酸、鹼、有機化學物質。而這些化學物質，會
因其本身揮發性而被排氣系統收集，這些化學物質經由尾氣
處理系統處理後，仍可能有未處理完之殘氣由排放管道排
放，影響周界空氣品質。
中科十五廠七期製程尾氣處理系統 攝影 / 洪湘寧
尾氣排放管道的類別，依主要處理污染物特性區分為：酸性
排氣、鹼性排氣、有機排氣以及一般排氣。以竹科某A廠實
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生
Abstract 出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定 有機排氣與一般排氣各別約占18%，而鹼性排氣僅占7%，因
際排放風量為例，酸性排氣約占全廠排氣總量57%，其次為
量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排氣管道內造成混排的主要來源，再以溯源方式進行來源驗證，發
此酸性排氣的妥善處理，顯得格外重要。
現濕式蝕刻機台出口酸性排氣中，含較高比例之氨氣及異丙醇。本文亦探討濕式蝕刻機台酸性排氣中造
成混排的原因與機制，並提出可行的因應對策及改善措施。
關鍵詞／先進製程、混排、區域廢氣洗滌器、分流選擇箱
從事工安相關工作將近二十年，秉持著維護員工安全、健康
製程的邁進，意味著可能伴隨著隱藏的環保
Keywords/ Advanced Process, Mixed Emission, Local Scrubber, Switch Box 宗 元 李 T. Y. Lee 凡事要往好處想，但要有最壞的打算；先進 淑 嫺 吳 Jenny Wu 學歷：成功大學環境醫學研究所
及環境永續發展的理念，永遠選擇做對的事，從源頭做好安
挑戰，發掘問題的同時更是為了解決問題。
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文│李宗元 吳淑嫺 │ 十二 B 廠工安環保部 設備物質安全專案│ 興趣：閱讀、運動、陪家人。 全、衛生、環保的把關。興趣：閱讀、看電影、戶外運動。
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