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技術專文

後，再將此C-tool type的排氣種類
表 8、B-tool 分流選擇箱改善方式及結果 表 12、濕式蝕刻區酸性排氣次主管改善成效
由酸性排氣重新定義為鹼性排氣，
完成排氣種類的修改後，大幅降低
B-tool 分流選擇箱改善方式 酸性排氣內IPA濃度 次主管 半定量儀器：PID 半定量儀器：TLD-1 製程區域
了酸性排氣內氨氣的含量，可參考 編號
表10說明。 改善前 改善後 偵測物種：以TVOCs為主 偵測物種：NH 3
測量濃度 公式(2) 測量濃度 公式(2)
(ppm) 計算結果 (ppm) 計算結果
提升切換閥的氣密性(增加勾型seal) Inlet: Inlet:
濕式洗滌塔(Salix) 將預留的切換閥移除，並將其通道封閉 581(ppm) 665(ppm)
後方排氣種類改善 Outlet: Outlet: SED-026 1.24 0.15 3.50 0.43 蝕刻區
改善前 改善後 251(ppm) 0.25(ppm)
切換率： 切換率：
除了將分流選擇箱效能提升外，為 56.8% 99.9% SED-028 0.29 0.08 2.10 0.57 蝕刻區
Level 1 Level 3 Level 2 Level 1 Level 3 Level 2
了讓混排改善更全面化，也重新檢 SED-029 1.44 0.34 2.54 0.60 蝕刻區
討濕式洗滌塔(Salix)的排氣種類適 AEX AEX SED-030 0.61 0.24 1.21 0.47 蝕刻區
宜性。濕式蝕刻機台混排問題及濕 VEX VEX
SEX SEX
式洗滌塔(Salix)的處理能力，大致 SED-040 0.42 0.11 1.69 0.46 蝕刻區
上可將其分為「有使用有機化學物 SED-042 1.31 0.55 1.04 0.44 蝕刻區
質」及「未使用有機化學物質」兩
種。而檢視濕式洗滌塔(Salix)的設
表 9、C-tool type 酸性排氣 IC 檢測結果
計原理，二段水洗輔以添加H 2 SO 4
或NaOH，其原理目的係針對酸、 Item [F-] [NH 4 ] 理方式的參考依據。
+
鹼性化學物質進行中和處理。當有 結論
機化學物質加入混排物種時，其後 – 針對機台未來新增使用其他化學
C-tool type 0.347 308928
端勢必需搭配有機空氣污染物防制 品，均應做嚴格把關，確保機台
本文利用溯源的方式，輔以直讀式
設備進行處理。 分流選擇箱切換至正確之排氣管
儀器及實驗室儀器，分別進行半定
路，廠務也需定期檢測各排氣管
因此，針對「有使用有機化學物 表 10、C-tool 混排改善方式及結果 量量及定量分析，成功找出酸性排
路，以即早發現問題即早進行改
質」的濕式蝕刻機台後方濕式洗滌 氣中混排污染物的主要來源，並加
塔(Salix)，計畫將原有的酸性排氣 C-tool 改善方式 酸性排氣內氨氣濃度 以改善達成設定目標，總結本文結 善。未來應針對本次未納入之範
種類，重新界定為有機排氣。其 論如下： 圍，如鹼性、有機排氣及濕式洗
改善前 改善後 滌器之排水等，持續探討改善方
優點是先經由濕式洗滌塔(Salix)去
除混排氣體中的酸性、鹼性污染 – 透過分流選擇箱的改善，將 法，全面解決製程廢氣及製程廢
物，再由廠務端有機排氣處理設備 加裝區域廢氣洗滌器. Outlet: Outlet: A-tool type出口酸性排氣內 水混排問題。
排氣種類由酸性排氣重新定義為鹼性排氣 308.9(ppm) 0 (ppm)
(VOCs)去除有機化學物質。另外， 的IPA從8.9(ppm)降低至0.87 – 藉由TB平台將本計畫改善措施推
考量到濕式洗滌塔(Salix)發生故障 改善前 改善後 (ppm)，切換率從91.6%提升至 廣到其他廠區，以進行整體類似
信息時，會自動開啟旁通管路的原 T-tool SEX T-tool LSC AEX 99.7%；及B-tool type 出口酸性 機台的製程廢氣排放問題改善，
廠設計，因此在與廠務處的討論與 type type Salix 排氣內的IPA從251(ppm)降低至 以達到公司於企業社會責任中環
合作下，保留了原旁通管路的酸性 0.25(ppm)，切換率從56.8%提
保的承諾。
排氣種類 表11 。其優點是，可以確 升至99.9%。
保當旁通管路開啟時，不經過濕式
表 11、使用有機化學物質的濕式蝕刻機台濕式洗滌器 (Salix) 排氣變更 – A廠酸性排氣，原異丙醇(IPA)平
洗滌塔(Salix)前處理的酸性及鹼性
均濃度約2.1(ppm)，氨氣(NH 3 )
化學物質，不會影響到廠務的有機
使用有機化學物質的濕式蝕刻機台區域廢氣洗滌塔(Salix)排氣改善 酸性排氣內IPA濃度 平均濃度約2.0(ppm)。藉由機台
排氣處理系統。實際委外請第三方
端分流選擇箱的改善及濕式洗滌
檢驗單位進行採樣分析，在廠務的 改善前 改善後
器(Salix)後端排氣種類的重新界
有機排氣處理系統出口端，也未見 參考文獻
定，將酸性排氣內的異丙醇(IPA)
陰陽離子濃度有明顯上升現象。 Salix排氣種類重新界定為有機排氣 12.2(ppm) 0(ppm) [1] 黃俊超、吳信賢，低濃度酸鹼廢氣高效
保留原旁通管路的酸性排氣種類 及氨氣(NH 3 )平均濃度皆降低至 率洗滌技術實廠應用案例，2005。
綜合以上，完成了分流選擇箱的改 1.0(ppm)以下。 [2] 戴士喆，半導體濕蝕刻洗淨設備，三聯
善及濕式洗滌塔(Salix)的排氣種類 改善前 改善後 科技，2003。
[3] 莊涵翔、吳淑嫺，先進製程Wet Clean
重新界定後，再次對酸性排氣次 旁通管路 旁通管路 – 本次在進行排氣種類清查過程 機台空污改善追追追，2017 tsmc ISEP
主管編號#026、#028、#029、 SEX SEX 時，發現最終的排氣組分，會視 conference。
Inlet SEX Inlet VEX [4] 陳駿華、楊宗敏，綠色思維下的濕式洗
#030、#040、#042以廠內實驗 機台端的使用特性而定，例如：
滌塔設計沿革，廠務季刊第6期，頁36-
室定量儀器進行分析 表12 ，並使用 是否會稀釋？是否混用其他化學 43，2012。
公式(2)驗證，確認數值均已降低至 物？是否衍生出不同的反應物？ [5] 陳駿華，一機多用型濕式洗滌塔設計
開發與應用，廠務季刊第19期，頁44-
篩選標準以下。 所以需以實測值作為製程尾氣處 51，2015。

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