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 表 3、計畫方法使用的儀器  圖5、使用不同化學品時分流選擇箱的動作                                            圖6、B-tool分流選擇箱內部相片
  ......... (2)

 儀器用途   半定量儀器   定量分析儀器   分流選擇箱          分流選擇箱              分流選擇箱
 以公式(2)計算結果，貢獻量大於    有機        VEX                 VEX                 VEX
 1之疑似混排污染物來源，再於排  量測對象   排氣次主管  排氣次主管(定性完成後) ~   Inlet  Inlet  Inlet
 生產機台(含分流選擇箱)                            酸
 氣次主管、排氣支岐管、濕式廢氣                SEX                SEX                 SEX
 儀器種類   TLD-1   PID   IC   GC-MS
 洗滌器及生產機台(包含分流選擇
                               AEX                 AEX      鹼          AEX
 箱)進行定量分析，使用Canister及  儀器廠牌   Honeywell   代理商：昇儀  Thermo   Agilent
 (原廠RAE)          使用有機化學物質            使用酸性化學物質           使用鹼性化學物質
 Impinger進行取樣。Canister為使  分流選擇箱的動作    分流選擇箱的動作           分流選擇箱的動作
 用體積為6公升之不銹鋼桶，取樣  偵測物種   NH 3    以TVOCs為主   NH 3    IPA
                                                                                            Gaps all around
 管路管徑為1分管，管長為100公  反應時間   15秒   1秒   30分鐘   30分鐘
 分，取樣時間於正壓端約5分鐘，
 偵測範圍   2.6ppm~75ppm   1ppb~10,000ppm   0.012ppbv   0.1ug/m   3  表 6、竹科某 A 廠濕式蝕刻機台分流選擇箱實測數
 負壓端約15分鐘；Impinger則是
 避免破出而使用3支50毫升的吸收  圖例                  Inlet      Outlet              氣密率
 瓶，採樣幫浦抽氣量設定為2公升/
 表 4、酸性排氣煙半定量檢測計算結果                    IPA濃度      Exhaust   IPA濃度
 分鐘，其後再以廠內實驗室的分析
 儀器搭配使用進行量測，如GC-MS
 次主管   半定量儀器：PID   半定量儀器：TLD-1   製程    265ug/m 3  VEX   Open
 及IC進行定量分析。計畫方法所使  編號   區域   有機  VEX   (106ppm)
 偵測物種：以TVOCs為主  偵測物種：NH 3                                        3
 用的儀器整理如 表3所示。   Inlet                            SEX   Close   22.3ug/m  91.6%
                                SEX                        (8.9ppm)            縮短H/W  parameter軟硬體delay
 測量濃度(ppm)   公式(2)計算結果   測量濃度(ppm)  公式(2)計算結果
                                                                               time fm 3(sec) to 1.5(sec)，結果
                                                  AEX   Close   25.44ug/m 3  90.4%
                                AEX                        (10.18ppm)          顯示，可將酸性分流選擇箱切換率
 SED-026   8.54   1.04  >75.00   9.13  蝕刻區
                                                                               提升至94%。而若進一步探討及測
 結果與分析  SED-028   7.33   1.99  7.90   2.15  蝕刻區                                試不同型式的分流選擇箱，更可將
 SED-029   12.60   2.99  10.10   2.40  蝕刻區   表 7、A-tool 分流選擇箱改善方式及結果           切換率提升至99.7%，其結果整理
                                                                               如  表7所示。切換率的定義則為，
 SED-030   3.05   1.19  8.90   3.46  蝕刻區
 該廠酸性排氣煙道次主管共計65  A-tool 分流選擇箱改善方式                           酸性排氣內IPA濃度        分流選擇箱入口與出口酸性排氣內
 支，依據檢測結果得知，酸性排氣  SED-040   3.75   1.02  7.40   2.01  蝕刻區                      的混排物種濃度的百分比率。
                                                             改善前     改善後
 管道系統內的混排物種主要來源皆  SED-042   7.81   3.28  6.60   2.77  蝕刻區
 為蝕刻區如 表4 。                                                                    其次，也針對B-tool  type的分流選
                縮短Switch切換Flap swing時間fm 15(sec) to 4(sec)   Inlet:  Inlet:    擇箱進行了功能性檢討，發現內部
                Flap damper間隙調整fm 1(mm) to 0(mm)             106(ppm)  290(ppm)
 確定酸性排氣管道內的混排污染物                                                               所預留不同Level間的切換閥，其
                縮短H/W parameter軟硬體delay time fm 3(sec) to 1.5(sec)  Outlet:  Outlet:
 來源區域後，再針對該區次主管進  表 5、不同濕式蝕刻機型濃度及數量統計表  分流選擇箱型式改變            8.9(ppm)  0.87(ppm)  隔板及轉軸處有較大的縫隙  圖6，
                                                             切換率：   切換率：
 行定量分析，其分析結果依據不同   改善前              改善後                      91.6%   99.7%     是造成切換率不佳的主要原因。因
 機型   化學品使用情況   機台酸性排氣分析結果(平均濃度)   機台數目
 濕式蝕刻機台機型及化學品使用狀                                                               此，在研發工程師的同意下，與設
                               VEX              VEX
 +
 況整理如  表5。該廠共有三種濕式  酸  鹼  有機  [NH 4 ] (ppm)  [IPA] (ppm)                       備商合作利用增加勾型seal的方式
                 Inlet             Inlet
 蝕刻機型共48台，均依製程需求，              SEX                     SEX                     提升切換閥的氣密性，再將預留的
 會在不同製程腔使用不同類型的化  A-tool  有使用   有使用      16.6  -   21                          切換閥移除，並將其通道封閉，結
 學物質，且因分流選擇箱設計不良              AEX                      AEX                     果顯示可將切換率提升至99.9% 表
 有使用   有使用   有使用   2.5   8.9   19
 或無分流選擇箱產生混排情況，故                                                               8。
 B-tool  有使用   有使用   有使用   24.6   251.0   1
 本研究以機台端的分流選擇箱及濕
 式洗滌器後端排氣管路正確性進行  C-tool  有使用   有使用      308.9   -   4
 改善。  有使用   有使用   有使用   21.9   2.8   3                                         加裝濕式洗滌塔(Salix)

 針對濕式蝕刻機台依製程參數依序  分流選擇箱改善                       delay time)改變。(A-tool)         在本次的結果與分析的過程中，也
 使用各種化學品的特性，設備商推                                                               清查出C-tool  type因原始設計的既
              針對A-tool及B-tool  type，主要是       首先，針對數量較多的A-to o l
 出了分流選擇箱，以  圖5為例，其                                                             存問題，造成高濃度的氨氣(NH 3 )
              利用硬體及軟體二個面向的改善，                 type，在與設備工程師及設備商
 功能是會隨著製程參數所使用的不  時，則會關閉酸性及鹼性排放管路  往正確之排氣管路，但根據實測                              進入酸性排氣中，而衍生出白煙的
 同化學物質，而分流至適當的排氣  以提升分流效率:                    合作進行分流選擇箱的改善下，                   問題。實際利用定量儀器進行分
 的閥門，而開啟有機排氣管路閥  結果顯示  表6，在機台排氣出口位
 管路，例如當製程使用氫氟酸時，                              藉由操作參數的調整，包含：縮                   析，結果如  表9所示。經由與設備
 門。  置，仍有測得混排情況。因此各型  – 硬體改善：減少間隙、改變形                                                                -
 分流選擇箱會將後方的酸性排氣管  式。(A-tool及B-tool)           短Switch切換Flap  swing時間fm         及廠務的討論下，雖然[F ]濃度不
 路閥門開啟，而關閉鹼性及有機  但即便濕式蝕刻機台已以分流選擇  式濕式蝕刻機台所使用的分流選擇  15(sec)  to  4(sec)；Flap  damper   高，但由於鹼性排氣風量較低，因
 排氣管路的閥門；當製程使用IPA  箱將酸性、鹼性及有機化學物，排  箱功能，需進一步檢討及改善。  – 軟體改善：參數(Flap  time及  間隙調整  fm  1(mm)  to  0(mm)；  此決定將該型機台加裝濕式洗滌器



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