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Tech Notes

技/術/專/文

半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in
Semiconductor Manufacturing Plants
中科十五 B 廠 ERC 緊急應變中心 攝影 / 洪湘寧
砷尾氣處理設備量測方法探討
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust
EDITOR'S of Local Scrubbers

先進製程酸性排氣混排因應改善對策探討
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System
COLUMN 編/者/的/話 for New Process Tools
吳榮泰│十五B廠工安衛生部│

半導體廠房土壤污染整治
Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility

廢硫酸去除雙氧水系統安全防護提升
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide
from Waste Sulfuric Acid
2018年1月19日，在莊子壽資深處長的主持下，開始了今年第一次的ISEP TB月會，各廠工安環保部部門主管
超紫外光機台全方位安全管理
對於台積電未來的工作方向進行深刻且具想像力、影響力的討論。會議中，宏章提議工安環保部的同仁能以 Safety Management for EUV Tool
《廠務季刊》將同仁在廠區的工作呈現給對工安環保有興趣的廠區同仁，藉此機會表彰工安環保工程師的努力
發火性物質運轉風險與安全對策
及成果，也讓廠區同仁了解目前台積電在「工安、環保」工作方向。這就是本次季刊的起源。
Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Materials in Usage of
Semiconductor Manufacturing Plant
「建構最佳健康職場，成為世界級安全衛生標竿企業」及「促進環境永續，成為世界級環境保護標竿企業」是
台積電在安全、衛生、環保政策的願景。而台積電五百多位 ISEP 同仁除了讓同仁能在安全的環境中快樂的工 談上鎖掛牌程序的強化及執行方式
Reinforcement of Lock-out/Tag-out Procedure and Its Implementation
作外，同時依循法規、環評承諾監督廠區的污染排放量、濃度，以達世界的環保標竿為目標。
南科防洪策略
工安環保部的工作舉凡日常的安全管理到人員健康曝露、機台設備安全評估、危害物質管理、污染物排放監
Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
測、緊急應變及工廠損害防阻，都將呈現於本期的內容中。摘要內容，隨健康風險意識抬頭，本期特別邀請國
六級強震巨災應變對策
立成功大學工業衛生學科暨環境醫學研究所教授蔡朋枝老師，探討高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理
Strategies and Countermeasures for Emergency Response
制度為同仁帶來暴露評估的新觀點及未來面臨的挑戰；期刊中在健康方面主題還有員工維修保養作業暴露風險 in Magnitude 6 Earthquake
探討，運用既有可攜式偵測器，以其低偵測下限及連續監測的特點，量測作業暴露風險，補足傳統作測缺點。
緊急應變中心電子化管理與應用
E-Management of Emergency Response Center and Its Application
而在安全方面主題有超紫外光機（EUV）安全管理、發火性物質運轉風險與安全對策及廢硫酸去除雙氧水系統
安全防護討論等主題，於此我們整理上述系統運轉經驗提出防護方向及對策；此外，以單篇文章分享於作業時
加入上鎖掛牌程序的重要性及執行經驗。環境保護精進的主題有討論砷尾氣處理設備量測方法探討，除既有監
測器外，以作業環境監測方法測量，檢核處理效率，評估處理設備的耗材年限；先進濕蝕刻製程因廢氣混排衍
生出的白煙問題，討論混排原因及因應改善對策；土壤污染整治以封測三廠為例提供經驗予以分享。在損害防
阻及緊急應變主題方面，有南科的地震及防洪應變對策、中國廠區的緊急應變中心電子化，內容非常豐富。
特別感謝來自新竹、台中、台南還有中國廠區的工安環保部同仁，歷經多次的會議，決定主題、調整內容，透
過同仁全心的參與，才能完成這期季刊，各篇論文都展現了專業的一面。正如前期預告所提「他山之石，可以
攻玉」，希望我們都可以汲取過往的經驗，使台積電成為一個更安全、更健康、更環保的公司。

4 中科十五B廠ERC緊急應變中心 攝影/洪湘寧