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Tech
             Notes
             技術專文

                                                                                                                                                                                                        為有機溶劑作業,潔淨室環境
             表 4、TSMC 300mm FAC 廠務油漆系統選用表                                                                                            圖3、低釋氣量漆料釋氣趨勢圖(現場實際量測值)
                                                                                                                                                                                                        AMC易受汙染而影響生產,故
                                                                                                                                                                                                        油漆選用與現場防護需特別選
               代號:O-021      清洗             第一道漆       第二道漆       第三道漆       第四道漆       第五道漆       第六道漆                                   200
                                                                                                                                                                                                        用低釋氣量(Low  Out-gassing)
                                                                                                                                                                                   TOC: 160→70ppb       之油漆系統。作業中並輔以不織
               油漆名稱          VpCI-414       VpCI CorrVerter  VpCI CorrVerter  VpCI-396  VpCI-396  宜耐面漆  VpCI-386                          150
                                                                                                                                                                                                        布型活性碳濾網濾除TOC  (Total
                                                                                                                                         TOC (ppb)  100
               塗布次數          清洗             1          1          1          1          1          1                                                                                                    Organic  Compound)以為第二層
               塗裝方式          高壓水柱清洗         滾塗/刷塗/噴塗   滾塗/刷塗/噴塗   滾塗/刷塗/噴塗   滾塗/刷塗/噴塗   滾塗/刷塗/噴塗   噴塗                                                                                                   防護。現場並以手持式儀器監測
                                                                                                                                           70                                                           進氣閣樓VOC狀態,確認進氣狀
               乾膜厚(μm)       NA             50         50         50         50         80         15
                                                                                                                                          50
                                                                                                                                                                                                        態品質,以避免有機溶劑作業污
               濕膜厚(μm)       NA             120        120        100        100        120        30                                                                                                   染潔淨室環境AMC,影響生產,
                                                                                                                                                                          20mins
                                                                                                                                           0
               適用溫度          NA             >5˚C       >5˚C       >5˚C       >5˚C       >5˚C       >5˚C                                                                                                 如 圖3 。
                                                                                                                                            0        5       10       15      20       25       30
                                                                                                                                                                  攪拌時間 (mins)
               適用濕度          NA             <85%       <85%       <85%       <85%       <85%       <85%                                                                                               – 系統供應穩定風險:由於生產機
               塗裝間隔(23˚C)    清洗物件完全乾為止      2 hr       2 hr       7 hr~ 7D   7hr~ 7D    4 hr~ 7D   4 hr~ 7D                                                                                             台對於廠務系統要求穩定供應,
                                                                                                                                                                                                        而全面翻新作業過程,部分作
               混合後可使用時間(hr)  NA             7 hr (23˚C)  7 hr (23˚C)  7 hr (23˚C)  7 hr (23˚C)  3 hr (23˚C)  3 hr (23˚C)
                                                                                                                                                                                                        業因安全考量,需停機施作。
               表面處理要求        a.用動力工具以及手動工具除鏽至St-3~St-2
                                                                                                                                     防蝕設計、表面處理、陰/陽極防                    揮發氣體蓄積,造成火災危害風                  由於廠務系統多屬於多台並聯運
               其他            ※施工時的重點                                                                                                 蝕,等方法單獨或合併使用,作為                    險。暫存區並設置滅火器以為異                  轉,例如P3酸排氣系統由11台
                             a.  各工程開始塗裝前,需除去塗面的異物(污垢、灰塵、油脂、水分)及粉塵等等。
                             b. 超過塗裝間隔時間重塗的情況下,會造成密著性差。若超過塗裝間隔時間必須要重新塗裝時,先將塗布面用鋼絲刷或砂                                                 材料選用及塗裝系統設計之依據。                    常之應變。                           風車並聯。而風車起/停過程為
                               紙擦粗處理後才可塗裝。                                                                                           讓不同承商能依規範執行。                                                       控制系統靜壓穩定,風車轉速需
                             c.  塗装後下雨、結露等等水分影響下、可能引起白化現象。如需要重新塗、先用砂紙和調薄劑擦乾淨除去白化部分後才可                                                                                 – 健康風險:由於施作人員於近距
                               以塗裝。如未處理進行重塗,可能發生剝離。                                                                                                                                                     逐步、平穩的微調降載,過程由
                             d. 由於膜的厚度在不足的情況下,將不能夠充分展示塗膜的性能,請使用塗膜量測計並確保乾濕膜厚度後進行。                                                                                        離除鏽過程中除眼睛需配戴護目                  一位工程師搭配5位駐廠作業人
                             e.  2液形環氧樹脂塗料在氣溫5度以下,乾燥時間太慢。而且乾燥過程内可能發生塗膜缺陷。請不要連續在氣溫5度以下時施                                                                                 鏡外,經常會有粉塵微粒吸入之
                               工。                                                                                                    風險管理                                                               員夥同作業,需時約1.5小時。
                             f.  邊緣往往薄膜厚度會不足,因此初始劣化可能發生機會比較多,建議塗裝前先塗邊緣後再進行全面塗裝。                                                                                         風險。故針對呼吸之防護需特別                  頻繁的切換作業,除了操作技術
                                                                                                                                     全面翻新作業風險主要分為兩大部                    注意。如作業環境為開放空間,
                                                                                                                                     分,分述如下:                            手工具、電動手工具除鏽,發塵                  的要求外,作業人員的專注、細
                                                                                                                                                                                                        心與耐心更是關鍵。期間若有失
                                                                                                                                                                        量不大,配戴N95口罩可避免粉
                                                                                                                                     ESH  (Environment-環境、Safety-                                       誤,將對生產造成巨大的影響。
                                                                                                                                                                        塵微粒吸入之風險。若作業環境
            實度即決定了防蝕的能力及耐久                   容定義建立十二吋廠務的防蝕資料                 練,承攬商施工人員均需完成相關                                         安全、Healthy-健康)風險
                                                                                                                                                                        為密閉桶槽,噴砂除鏽大發塵量
            性,值得廠務人員深入了解相關工                  庫,依據不同材質,戶外環境條                  訓練,並取得合格記錄方可上線施                                         由於全面翻新作業內容包含許多有
                                                                                                                                                                        之作業,除作業空間需進行通風
            法、標準及規範,因此如何達成一                  件,及施工環境是否為AMC管制區                作。承攬商施工期間針對施工品                                          機溶劑作業、高架作業、粉塵作業                                                  整合管理/發包管理/成本管理/
                                                                                                                                                                        換氣外,作業人員則需配戴主動
            次性工程的五年保固,或如何執行                  等不同應用共建立33種防蝕塗裝系                質需自主檢查及記錄,且承攬商                                          等。故需針對作業內容進行ESH風                                                 人力資源管理
                                                                                                                                                                        供氣式面罩以避免作業人員之吸
            後續的PM作業,則須有系統的建                  統。資料庫內詳述塗裝系統表面處                 QC品檢員需具備公信力機構(例:                                        險鑑別。                                                             有關除鏽油漆工程,執行方式主要
                                                                                                                                                                        入風險。
            立相關工法規範及驗收標準,甚至                  理要求、油漆塗佈道數、每一道使                 NACE、SSPC、FROSIO、中華民
                                                                                                                                     – 環境風險:對於外觀形狀簡單,                                                 是發包施工廠商執行施作。由於
            於工程發包採購的標準內容。                    用漆料料號、塗佈膜厚、施工時環                 國防蝕工程學會等)訓練合格,方                                                                            上漆作業為有機溶劑作業,故施
                                                                                                                                       大面積,施作空間充裕的冷卻水                                                 工程內容龐大,以2017年為例,
                                             境溫溼度條件、塗佈間隔時間等關                 可執行QC作業。                                                                                   作人員需全程配戴活性碳口罩以                相關工程竹/中/南發包工程總數約
                                                                                                                                       管系統,水刀噴砂法能有效快速
                                             鍵施工條件。每一油漆系統漆料供                                                                                                            避免有機溶劑吸入風險。                   300件,金額約400MNTD,金額
            品質管理                             應商均出具5年保固同意書,如 表                與新廠設計部合作                                                  的除去管路表面的鐵鏽與附著不
                                                                                                                                       良的浮漆。但施作過程中產生                  生產風險                            龐大。故全面翻新專案工程發包,
            依前所述全面翻新的目標在於以具                  4。                              依據國際標準為ISO12944規範,                                                                                                       廠商人力資源及發包成本管理影響
                                                                                                                                       的廢水夾雜許多的鐵鏽與漆料破
            成本效益的方法一次性的改善,建                                                  建立新建廠規範,內容涵蓋防護塗                                           片,需先進行截流與濾除後廢水                 由於全面翻新施工期間系統仍持續                 本專案執行成敗甚巨。
                                             油漆施工採購規範                                                                                                                 運轉,生產作業仍不間斷。翻新的
            立未來30年穩定運轉的基礎。故                                                  料系統對鋼結構的腐蝕防護,執行                                           排入廢水處理系統,避免環境污
            品質管理為全面翻新成敗之關鍵。                  「TSMC  300mm  FAC油漆施工           主要依序為環境分類、設計考慮因                                           染。                             工作如同穿著衣服改衣服,因此作                 既有發包模式的缺點
            台積電參考ISO12944,台塑油漆               採購規範  V01」。內容定義工程               素、表面和表面處理的類型、防護                                                                          業對工廠運作的風險需特別分析與                 以往300件翻新工程,各廠間全面
                                                                                                                                       對於大面積的噴塗作業,因漆料                 因應。
            工程規範等,定義廠區室外環境為                  QC、驗收、保固及施工防護相關                 塗料系統、實驗室性能試驗方法、                                                                                                          翻新發包作業均由各廠全面翻新負
                                                                                                                                       微粒易隨氣流飄散污染周遭環
            C5-I,漆料系統保固期5年,以建                規定事項。於工程發包規範依據。                 油漆工作的執行和監督、維護規範                                                                          – AMC (Airborne Molecule Conta-  責人獨立發包,各廠間廠商報價模
                                                                                                                                       境,故於作業空間均設置防護網
            置台積廠務相關漆料工法及施工管                  然每一種塗裝系統於施工上從表面                 的製定、相關結構的防護塗料系統                                                                            mination)  污染風險:由於環境          式不同,造成發包困難。
                                                                                                                                       加以攔除。
            理規範。                             除鏽處理、環境氣候條件確認、調                 和實驗室性能試驗方法,建立一系                                                                            條件緣故,鏽蝕嚴重區域多集中
                                                                                                                                                                                                      – 各廠採用油漆系統不同,基準不
                                             漆、上漆膜厚、作業時間、漆料保                 統化符合台積既有廠區及新廠區防                                         – 安全風險:由於漆料屬揮發性易                   於室外、屋頂區域。而潔淨室外
            油漆選用規範                                                                                                                                                                                      同使採購無從議價起。
                                             存等作業,均會直接影響施工品                  蝕規範,按照ISO12944-5將tsmc                                     燃之有機溶劑,故其存放需避免                   氣空調箱進氣閣樓位於屋頂,屬
            台積廠務「TSMC  300mm  FAC油           質。此33種塗裝系統漆料由6家漆                定義於C5-I大氣環境腐蝕分類,由                                         火災風險。分裝小桶桶蓋需確實                   半室外空間,為一高溫、高濕環                – 各包的報價項目混雜,例如除鏽
            漆選用規範  V01-1」,內容彙整               料供應商提供。漆料供應商針對除                 各型式腐蝕原理展開,並藉由五大                                           蓋好,放置於金屬工具箱內,並                   境條件,內部鋼構、金屬盤體                   上漆、上下設備、吊裝、設備維
            竹/中/南科各廠防蝕塗裝經驗。內                 鏽油漆施工,均需提供相關施工訓                 防制方法-改變材料、改變環境、                                           存放於通風良好的環境中,避免                   等,易受侵蝕。但由於油漆塗裝                  修、備品或料件更換等各種項目



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