Page 35 - Vol.33
P. 35

Tech
 Notes
 技術專文


 圖1、2016台灣廢棄物總量(資料來源行政院環保署廢管處)  圖2、台積電單位12吋晶圓委外廢棄物產出趨勢圖


                   0.80
 2016年廢棄物總量：2,643萬公噸
                   0.70       單位晶圓廢棄物產生實際量
                              單位晶圓廢棄物產生預估量 (未來目標)
                              單位晶圓廢棄物產生預估量 (假設台積公司無積極減量措施)
 28%  72%          0.60
                  公斤/八吋晶圓當量－光罩數  0.40
 一般廢棄物：746萬公噸  事業廢棄物：1,897萬公噸  0.50


 42%  50%  8%

 其他  回收  廚餘  工業  營建  農林  醫療  交通  教育  國防  其他  0.30
 313萬公噸  375萬公噸  58萬公噸  87.93%  8.68%  0.86%  0.54%  0.22%  0.03%  0.01%  1.73%  0.20  附註：
                                                      單位晶圓委外廢棄物產出量上升，主要由於：先進製程比例持續增加和民國104年
                                                      環保法規增加廢水中氨氮管制，台積公司廢水中氨氮以廢棄物形式產出
 暫存6%              0.10                               自民國104年起，台積公司積極推行各項廢棄物減量及再生活化措施，預估量係以
                                                      民國103年作為減量前基準年計算
 1%  41%  58%  77%  16%  0.05%
                   0.00
                          101 年     102 年      103 年     104 年      105 年     106 年                109 年
 掩埋  焚化  回收  再利用  處理  出口



                                                                               資源，同時製造汙染，這艘太空船
              圖3、台積電原物料與廢棄物特性
                                                                               只會加速的毀滅。因此人類必須
 到了2000年代，台灣陸續頒布了  利用(Recycli ng )、能源再利用  所產生的廢棄物，每年超過300萬                     讓自己活在一個循環的生態系統
 環境基本法、廢棄物清理法、廢資  (Recovery)及最終處理(Disposal)。  公噸。這些廢棄物在蕞爾之島的台  有機液體  有機液體      (Cyclical Ecological System) 之中，
                                       20%                          20%
 源回收再利用法，此時台灣已成為  實施策略架構包括了﹕永續資源  灣，必須耗費相當龐大的污染防治                              才能永續生存。
                                       固體                           固體
 全球重要的製造基地之一，許多廠  管理、綠色設計及生產、綠色消  資源，才能妥善處理這些廢棄物，  < 0.1%           10%
                                       氣體                                      台灣當然也是地球太空船的一分
 商成為全球最大的製造商，當產業  費及貿易、源頭減量及再利用、  且不可諱言的，違法棄置或汙染環  原物料比例  5%  廢棄料比例
                                                                    其他         子，而台灣的資源相較其他國家更
 進行全球布局，更凸顯台灣資源的  資源終止認定處置等。在近幾年  境等情事，也多少會伴隨產生。半                   5%
                                                                               顯嚴峻。過去半世紀來，台灣90%
 不足，產業所需之能源、原料及礦  的努力下，循環經濟產值從2002  導體工業在未來隨著製程節點的複  非有機
                                       液體75%                        非有機        以上的能源、肥料、飼料、以及
 產全靠進口，水資源也嚴重不足，  年之250億提升至現在1,000億元  雜度增加，化學清洗、研磨、蝕                液體65%
                                                                               60%以上的食物均仰賴進口。持
 加以京都議定書之溫室氣體排放限  之譜。然而循環經濟不只是回收量  刻、顯影等製程步驟也會隨之成                              續倚賴進口大量的能源，原物料，
 制，造成一些大型投資案因環境及  或占比的增加，更需強調發展多層  長，可預期廢棄物種類及數量將與
                                                                               再經過加工生產出不同產品銷售，
 資源議題而放棄。  次的循環。要能達到不斷循環滾動  製程節點成正比，造成廢棄物的持                                    製造過程中產出之廢棄物，往往無
 的循環經濟，下列有三個重要的因  續增加。
 在此同時，產業面對事業廢棄物缺                                                               法妥善處理，或被任意棄置。在依
 子將是未來努力的目標，包括：靜  台積電將朝搖籃到搖籃的循環理              妥善將生產機台排出的液態化學品
 乏適合的處理再利用機構業者、再  台積電在2010年起，即意識到這                                             賴資源驅動成長的線性經濟(Linear
 脈產業產出的再生資源，必須達到  念，將廢棄物再生成為半導體製程             分流，專管收集，並發展再生技術
 利用技術，或處理價格昂貴，造成  個環保的議題及資源循環再利用未                                              Economy)－開採、製造、使用、
 符合市場需求品質之產品，並為產  的原料，期能達到零廢棄的終極目             開發評估系統，開發特定的回收技
 仍有違法棄置，汙染環境等問題。  來必將衝擊半導體產業。過往，工                                              丟棄(Take-Make-Use-Dispose)模式
 業所用；動脈產業在生產產品時，  標。 圖2為台積電單位12吋晶圓委           術，均為台積電循環經濟的重要課
 因此，經濟部工業局除加強工業減  廠產出的廢棄物，若不是透過工廠                                              下，當資源供需與價格大幅波動之
 應以利用再生資源為優先的目標，  外廢棄物產出趨勢圖。                  題。 表1為2010~2018台積電廢棄
 廢輔導，推動工業廢棄物共同處理  本身的污染防治設施，將廢棄物加                                              際，常難以持續創造就業，也無法
 規劃相關的製程設施及流程；在生  以降解成無害的物質排放，便是尋             物產出量。
 體系外，並依廢棄物清理法進行工                                                               兼顧環境生態。環境問題的衍生大
 命週期階段，促進各種形式的再使  求異業合作，將這些廢棄物以委外
 業廢棄物再利用審查，建立資源化  台積電使用之原物料及廢棄物                                                都是線性經濟(Linear  Economy)的
 用、再利用，甚至是能源利用，以  清運及委外降解處理方式去化。但
 產業，使工業廢棄物再利用率提                                                                商業模式所導致，線性經濟的特色
 達到最大程度的循環利用。參見 圖  若我們持續以往的作為，即是落入  半導體的原料除了以矽晶圓為基本
 高。工業局也一併推廣工業區能資                                                               是浪費資源，同時忽略外部成本的
 1為2016台灣廢棄物總量及分類占  了「大量生產、大量消費、大量廢  材料外，製程中使用了大量氣體及
 源整合，使產業生產所需之水、能                              文獻探討                             破壞性商業機制(黃育徵，2017)。
 比。  棄」的循環模式，不但無法節省能  化學品，如 圖3所示，其中95%為
 源、及資源均可循環再利用。
 資源，也無法降低環境負荷。因此  液態化學品。液態化學品又以無機                                              Pearce  and  Turner  (1990)首次以
 目前，台灣正努力朝廢棄物清理  台積電結合異業廠商，逐步的啟動  液態化學品為大宗，其次為有機液  循環經濟的發展及演進                  「循環經濟」(Circular  Economy)
 法與資源再利用二法合一的循環  台積電推動循環經濟的緣由  循環經濟的變革。首先，工廠廢棄  態化學品；相對的，由製程衍生出                一詞來詮釋資源循環利用。自然資
 經濟而努力，以資源永續循環利  台灣是全球半導體製造的重要基  物朝向源頭減量，同時也避免使用  廢棄物的特性，65%為無機化學  循環經濟思維的萌芽可追溯至  源經過生產製造進而變成產品，
 用為願景，並以資源利用效率極大  地，每年平均產出約2,000萬片的  高污染高毒性之原料。在台積電全  廢液，其次為有機化學廢液，佔比  1966年，Boulding提出地球太空船  產生經濟效用，在過程中會產生廢
 化與環境衝擊影響極小化為目標，  12吋晶圓當量，在此同時，也產  體同仁努力下，工廠的廢水回收率  約20%，最後為污染防治設備產  (Spaceship  Earth)的理論(Boulding,   棄物，廢棄物必須回收再利用。循
 遵循的原則﹕源頭減量(Reduce)、  生出大量的廢棄物。根據統計，從  從50%成長到90%，並開始同步發  出之污泥或是潔淨室濾網等固態廢  1966)，地球如同一太空船，船上  環經濟應重視循環以及對環境的影
 促進再使用(R eu se)、材質再  2014年開始，半導體製造過程中  展廢棄物回收及再生技術。最終，  棄物，佔10%~15%。因此，如何  只有有限的資源，若無節制的取用  響，在社會經濟系統中的活動須符



 34                                                                                  FACILITY JOURNAL          DECEMBER  2018  35
   30   31   32   33   34   35   36   37   38   39   40