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 技術專文

 合永續發展，資源的開發速率不能
 表 1、2010~2018 年台積電廢棄物量  圖4、循環經濟系統圖: 生物及工業循環 (Ellen MacArthur Foundation)
 大於其可再生速率；排放到環境中
 的廢棄物，要小於或等於環境涵容  Unit:Ton/Mth(avg.)  Y2010年 Y2012年 Y2014年 Y2016年 Y2018年
 (FCST)
 能力。
                                                                        Mining/materials manufacturing
 循環經濟是一個資源可恢復且可再
 製程廢棄物產出量  7,410  10,295  16,550  30,600  39,860
 生的經濟和產業系統，相較於線性
 經濟中產品「壽終正寢」的概念，  無機廢液   硫酸  3,690  5,420  7,680  11,700  12,550  Farming/collection  Parts manufacturer  Technical nutrients
 (60%-70%)       Biological materials
 循環經濟使用再生能源、拒絕使用
 硫酸銨  -  -  110  6,900  8,410
 無法再利用的有毒化學物質，藉由                       Biochemical
                                       feedstock       Product manufacturer
 重新設計材料、產品、製程及商業  硫酸銅  670  765  710  1,060  1,450  Restoration  Biosphere                         Recycle
 模式，消除廢棄物，重視資源使用
 氫氟酸  110  140  290  290  720                            Service provider
 效率(Resource Efficiency)，設法以                                                                Refurbish/
                                                                                            remanufacture
 更少的資源來創造更多的價值，確  磷酸  150  185  325  480  510
                                                                                      Reuse/redistribute
 保地球有限的資源能以循環再生、
 有機廢液   光阻稀釋劑  750  1,020  2,125  3,150  3,960  Biogas  Cascades                Maintenance
 永續方式被使用。所以循環經濟的  (15%-20%)
 特色是長久性，可再生，可重複  高含水異丙醇  -  -  -  -  3,050            Consumer     User
                             Anaerobic
 使用，修復、升級、可翻新的、資             digestion/                          Collection
 顯影劑  -  260  1,350  2,030  2,640  composting        Collection
 本共享、以及非物質化(Lacy  and
 Rutqvist,  2014)。以整體來看，循  光阻去除劑  510  605  995  1,350  1,550  Extraction of
                                     biochemical         Energy recovery
 環經濟是一種經濟模式，而其中規                     feedstock
 固體   無機汙泥  1,050  1,250  2,050  2,320  3,480
 劃、資源取得、採購、生產及後處  (10%-15%)                                                      Leakage to be minimised
 理都是被設計且被管理的，在過程  化學品空桶  200  250  340  370  390
                                                            Landfill
 和產出中，使生態系統功能及人類
 其他   一般焚化廢棄物、空  280  365  575  950  1,150
 福祉最大化 (Murry et al., 2015)。  (3%~5%)  調濾網、活性碳等
 依據艾倫‧麥克亞瑟基會(Ellen
 MacArthur  Foundation,  2016)的
 定義，循環經濟有兩種循環模式，
                                              價值的資源再生解決方案、以及半                  了降低台積的資源耗用量，台積結
 分別為生物循環及工業循環  圖4。  建立材料再生(Re-Cycling)、資源  Economic  Forum,  2017)。這些目  表 2、台積電循環經濟技術發展評估項目
 生物循環為是產品最後可被生物分  再生(Re-Generating)、產品再製  標與方法，與台灣的半導體產業想  導體產業永續發展的創新獲利模式     合原物料供應商夥伴，持續開發高
 解，回到自然環境中提供養分；  (Re-Manufacturing)之循環迴圈  法步調上是一致的。循環經濟的推  項目  內容  邁進。台積循環經濟的願景如下。  階循環技術，希望以再生電子級物
 工業循環是將產品設計為容易回  (Loop)，進而建構多迴圈之製造循  動需要異業結合、資源共享、互利                           料替代現有原物料，達再生永續循
 收、再製，而其產品最後可維持同  環體系。為解決能源、資源有限供  共生(Lieder  et,  al.,2017)。資源循  技術  技術可行性  低廢棄、低排放的綠色工廠  環之目標。
 品質回收或升級製成更高價值的  應及廢棄物汙染問題，台灣的龍頭  環利用不單只靠技術開發，亦要發  指標  投資金額及回收效益  未來新設的工廠，即導入廠內資源
 新產品。本文探討的主要是工業  產業之一－半導體製造業，也必須  展出循環經濟的商業模式才能生  再生設備，降低晶圓廠在生產過程
                運轉   系統操作運轉人力負荷                                                台積電資源再生技術
 循環，在製造上主要的原則包括  存，循環經濟產業也將回是未來關
 走向循環經濟體系，產業鏈革新、  指標  系統設計日常維護保養便利性           排放的廢棄物和汙染物，成為兼顧                  開發評估系統及案例
 重視維修保養(Repair)，減少廢棄  鍵的創新產業，透過共享經濟，改  系統緊急搶修及備援能力
 能資源損耗降低、排放廢棄物質再                              能資源循環永續利用與循環經濟效
 量(Reduce)，重複使用(Reuse)，  變商業模式，增加半導體產業的競                                       為更具架構性的檢視及評估廢棄資
 生增值，減低供應鏈壓力，降低環  環境  衍生廢棄物或其他能耗度             益的環境，以達到綠色製造兼顧經
 拒絕使用不環保原料或產品  爭性。                                                             源轉製再生物料循環之可行性，台
 境危害，同時也有利提高企業競爭  友善  再生產品高階回收循環度(高值化)        濟發展與環境保護永續目標。
 (Refuse)，及再生循環(Recycle)。  指標                                                  積電將資源再生技術開發評估分成
 力。以循環經濟思維，制定產業
                                                                               四個指標  表2 ，包括技術指標、運
 政策及重構產業鏈，推動製造循  銷售  再生產品通路去化未來風險低            整合循環經濟的綠色供應鏈                     轉指標、環境友善指標和銷售指
 環、再生、再利用  (邱琬雯等人，   指標  再生產品產出品質穩定度
 半導體業的循環經濟                                    台積希望能聯合上下游的供應商一                  標，共包括9項為各指標的評估項
 2017)。  台積電的資源再生
 及發展方向                                        起發展與環境共生的整體競爭力，                  目，在兼顧技術可行性及效益下，
 在完整的循環經濟體系下，製造產  晶片製造商英特爾  (Intel  Corpo-  技術發展  透過發展循環專區將園區內的污               同時也需考量後續的運轉操作、衍
 業將沒有「廢棄物」這個用詞，  ration)設定了一項目標，到2020  生。台積電在持續發展先進製程為  染、廢棄物，轉為經濟產值的一種        生廢棄物、能耗，以及再生產品的
                                              模式，利用既有能資源與廢棄物進
 所有的製程衍生物均會進入下一  年目標回收90％的非有害廢物，  社會帶來更便利的生活的同時，也  行循環利用，一則增加產能，另外             去化通路，確保長期運轉之環境效
 個製造循環體系，也許是進入原  並100%  的不再將有害廢棄物透過  台積電的循環經濟願景  也可減少污染排放。                     益，並降低二次廢棄之風險。
 有產品之製程循環，或是進入另  掩埋方式處理。自2008年以來，  半導體產業為台灣主流產業，每年  同步進行污染防制、環境保護及資            以氨氮廢水處理系統當初應用此評
 一個產品之製程循環。要達到這  透過如通過升級、再利用、回收、  的產值為台灣經濟成長貢獻良多，  源的永續利用。台積電的循環經濟             估系統做為案例說明：環保署明
 樣的情境，新思維之建立是最重  再生等手段，英特爾已回收其運  但在產業發展之餘，造成能源、資  是朝如何妥善回收並提高廢棄物資  永續循環利用，循環台積  令於2015年1月起，科學工業園
 要的，將帶動新科技之發展，以  營產生的廢物總量達75％  (World   源大量耗盡、大量廢棄物也伴隨而  源化的比例、持續尋找低耗能且高  隨著先進製程及持續擴產需求，為  區污水下水道系統放流水標準，將



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