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技術專文

表 3、氨氮廢水觸媒焚化法及脫氣膜法之評估結果 表 4、台積電循環經濟三階段執行項目及技術

指 標 評估項目 觸媒焚化法 脫氣膜法 階段 對象物 設計概念 採用回收製程 再生產品及應用 成果指標
(以液態硫酸銨為產物)
循環 製程廢水 依廢水性質分流/專 初階技術－中和、混凝、膠 一級用水：回收水送回工業 製程回收率>85%
技術指標 製程技術可行性評估 製程流程為將廢水中的氨氮氣提轉為氨 製程流程為將氨氮廢水pH提高，通過中空脫氣 經濟 管收集並降解及回收 凝、沉澱。 水池取代自來水。
氣後，再經觸媒塔進行分解為氮氣。此 膜，此時水中氨氮將轉為氨氣，通過透氣膜，與膜 1.0 進階技術－吸附、離子交 次級用水：回收水供應冷卻
製程為具經驗之技術(ProvenTechnology) 另一側的硫酸結合為硫酸銨。此製程為具經驗之技 換、膜分離、氧化、觸媒。 水塔或洗滌塔。
且經模廠(pilottest)測試成功。 術(ProvenTechnology)且經模廠(pilottest)測試成功。
廢硫酸 專管收集並委外回收 焚硫、稀釋、化合 工業濃硫酸、稀硫酸、發煙
投資金額及投資回收效 初設成本：340% 初設成本：100% 硫酸、硫酸鹽類
益評估 運轉成本：100% 運轉成本：160%
投資回收：- 投資回收：-
廢氫氟酸 專管收集並委外回收 化合 人造螢石(應用：鋼鐵冶煉助
熔劑)
運轉指標 系統操作複雜性及操作 操作複雜度：一般 操作複雜度：容易
安全評估 安全風險：高(高溫) 安全風險：低(常溫)
廢硫酸銅 專管收集並委外回收 電解 電鍍銅板(應用：電線電纜等
原物料)
系統日常維護保養評估 維護保養複雜度高 維護保養複雜度低
有停機保養需求 不需停機保養
廢光阻去 專管收集並委外回收 焚化 作為替代燃料、熱能回收
系統緊急處理及備援能 緊急處理：停機施作故障排除 緊急處理：系統可不停止，進行故障排除 除劑
力評估 備援能力：燃燒主設備Ｎ套設計 備援能力：脫氣膜主設備N+1設計
廢異丙醇 專管收集並委外回收 蒸餾 工業級異丙醇(應用：硝化纖
環境友善 衍生廢棄物或能耗度評 衍生廢棄物：燃燒廢氣 衍生廢棄物：無 維除水劑)
指標 估 能耗：高 能耗：低
廢光阻稀 專管收集並委外回收 蒸餾 工業級稀釋劑(應用：塗料業)
再生產品高階回收循環 可回收之再生產物：無 可回之再生收產物：液態硫酸銨，硫酸銨晶體，工 釋劑
度(高值化)評估 業級氨水，電子級氨水
廢顯影液 專管收集並委外回收 樹脂吸附 光電廠等級顯影液
銷售指標 再生產品通路去化及可 無再生產品產出 依照去化廠商家數及產能分析結果
能去化風險評估 液態硫酸銨：去化風險高
硫酸銨晶體：去化風險低 硫酸銨 收集並委外回收 脫附、吸附(氨水) 石膏，工業級氨水
工業級氨水：去化風險低 蒸餾、結晶(硫酸銨晶體) 硫酸銨晶體(應用：皮革業脫
電子級氨水：去化風險低 灰劑)
再生產品產出品質穩定 無再生產品產出 依照去化廠商允收標準及製程穩定度分析結果 化學污泥 收集並委外回收 研磨、旋窯燒成(水泥添加料) 水泥添加料
度評估 液態硫酸銨品質控制：容易 螢石(應用：鋼鐵冶煉助熔劑)
硫酸銨晶體品質控制：一般
工業級氨水品質控制：容易 循環 廢硫酸 去除廢硫酸中之雙氧 鹽酸法除去雙氧水 與廠內之氨氮廢水反應，產 氨氮廢水濃度<30ppm
電子級氨水品質控制：困難 經濟 水，將硫酸與氨氮廢 出液態硫酸銨 工廠不再購買工業硫酸
2.0 水反應生成硫酸銨， 廠內廢水系統酸鹼中和及再 2018年
或直接作為廢水中和 生使用
藥劑。

廢氫氟酸 化合反應生成冰晶石 與鋁酸鈉反應生成冰晶石 冰晶石(電解鋁工業之助熔劑) 氟化鈣汙泥零外運2020年
高濃氫氟酸零外運2020年
清洗電路板及製程中有機金屬化學 再生技術，並依循下列三個階段來 術及實踐方式各有所異， 表4為台
氣相沉積的氨氮廢液分兩階段列入 設計及執行: 積電由循環經濟1.0至3.0，各階段 廢硫酸銅 電解產出固態銅棒 電解 作為電線電纜等原物料 硫酸銅委外處理量為零
銅棒產出量10-12噸/月
管制，要求新設事業的廢水氨氮濃 之對象物，設計概念，再生技術，
– 循環經濟1.0 (CE1.0)－台積電之 2018年
度需在20毫克/公升之下；既設業 再生產品及用途等。並由此一演
事業廢棄物，以不走向掩埋、外 廢異丙醇 低濃度異丙醇廢液提 蒸餾 作為工業級異丙醇原料
者於2015年起需低於75毫克 / 公 進可知台積電在完成循環經濟3.0
排 (污水) 或焚化為最終站，而 濃
升，於2017年應達30毫克/公升 時，即將建立起自己的循環迴圈
是可以與異業結盟，將廢棄物以 硫酸銨 蒸餾、結晶 作為皮革、染整酸鹼緩衝用 廢硫酸銨零外運2019年
的標準。當時，台積電尚未設置任 (Loop)，即材料再生(Re-Cycling)、 30%之硫酸銨液結晶
委外方式讓再利用業者進行再生 為99.9%硫酸銨晶體 劑
何氨氮廢水處理系統，開始著手評 及回收。 資源再生(Re-Generating)、及產品
循環 廢硫酸 再生為電子級硫酸 高溫裂解轉化製程 電子級硫酸 電子級再生物料替代率
估不同的處理製程，包含觸媒焚化 再製(Re-Manufacturing)。 經濟 24% 2022年
– 循環經濟2.0 (CE2.0)－台積電之
法，及脫氣膜法。 表3為這二種處 3.0
事業廢棄物，不論是在廠內自行 廢硫酸銅 電解產出固態銅 電解 電子級鍍膜銅料 電子級再生物料替代率
理製程依評估系統產出之評估結
再生，降解，再製或是轉製成其 55% 2022年
果，依此一結果，台積電最終選擇
他資源，使其具有資源加值之作 廢異丙醇 再生為電子級異丙醇 分餾、滲透蒸發、純化 電子級異丙醇 電子級再生物料替代率
脫氣膜法處理廠內之氨氮廢水。 台積電的
用。 28% 2022年
– 循環經濟3.0 (CE3.0)－台積電 循環經濟藍圖 廢光阻稀 再生為電子級光阻稀 蒸餾、純化 電子級光阻稀釋劑 電子級再生物料替代率
釋劑 釋劑 22% 2022年
再生技術發展三階段 之事業廢棄物，可在廠內或廠外
經過再生流程，將廢棄物轉變為 廢顯影液 再生為電子級顯影液 電透析、純化 電子級顯影液 電子級再生物料替代率
台積電在發展循環經濟之前，廢棄 26% 2022年
電子級之原物料再回到台積電使 台積電的循環經濟行動藍圖
物一般都是妥善的委外處理，處理
用，實現搖籃到搖籃概念。 硫酸銨 再生為電子級氨水 脫附、吸附、純化 電子級氨水 電子級再生物料替代率
方式不外乎為焚化，或是掩埋。 有鑑於台積電先進製程大幅增加原 31% 2022年
2010年起，著手發展資源循環及 在這三個階段所需配合的設計，技 物料之使用，預估在廢棄物的產出

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