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技術專文

RCW Recycling for

Air

Pollutant

Removal

of Central Scrubber

中央洗滌塔排水

回收再利用改善空污排放 中科十五廠六期中央洗滌塔 攝影/洪湘寧

前言 活環境之物質，包含主要污染物及 懸浮微粒(PM2.5)的污染前驅物
有害污染物，主要污染物分別是二 「氨」，半導體產業將首當其衝。
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔 (Central Scrubber) 為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼
氧化硫、二氧化氮、一氧化碳、臭 氨(Ammonia，或稱氨氣，分子式
混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃 空氣污染是由於外來的因素，使乾
氧、碳氫化合物及懸浮微粒 [1] 。 為NH 3 )是無色氣體，有強烈刺激
度也間接影響無塵室微污染控制，因此氨氣減量方式除進行來源端源頭減量、污染物分流與現址型洗滌 淨空氣中含有污染物質，致改變原 氣味，極易溶於水，於常溫常壓下
塔配置外，另外提升酸性洗滌塔去除氨氣效率亦可達到污染物減量之目的。提昇酸排洗滌塔效率 (SEX) 有的空氣組成。另對於空氣污染物 新《空污法》2018/08/01由總 1單位體積水可溶解700倍體積的
方法有氣液相濃度差及處理設備滯留時間兩大因素，滯留時間方面暨有廠區洗滌塔設置改善已有多位專 的定義了解，可依照我國空氣污染 統頒布正式上路，並針對2017年 氨。半導體廠以洗滌塔為主要空氣
家於《廠務季刊》中提出討論，因此本篇針對酸性洗滌塔中氣液相污染物濃度差之方向進行探討，藉以 防制法第二條一之說明，指空氣中 6月實施的《空氣品質嚴重惡化管 污染物處理設備，白煙問題是一般
洗滌水水質改善提升酸排洗滌塔去除氨氣效率。 足以直接或間接妨礙國民健康或生 制辦法》將再修訂，加強管制細 工廠常見的嚴重污染狀況，較常

關鍵詞／次級回收水、中央洗滌塔（廢氣處理設備）、酸鹼混排、氨氣減量、水質改善 學歷：清華大學動力機械所 學歷：成功大學環境工程系 / 所 學歷：台北科技大學化學工
Keywords/ Reclaim City Water (RCW), Central Scrubber, Acid-base gas mixed emissions, Ammonia reduction, 祥 儀 經歷：2014 年加入台積電迄今 聖 偉 證照：甲級空氣污染防制、廢水處理 能 泉 程與生物科技系
Circulation water improvement 楓 Hsiang-I Feng 陳 N.C. Chen
證照：甲級空氣汙染防制專員、 陳 Sheng Wei Chen 專責人員，甲級廢棄物處理技術員、 證照：甲級空氣汙染防制專
缺氧作業主管、特化作業主管 甲級毒性化學物質專業技術管理人員 員，乙級化工、化學技術士
文│楓祥儀 陳聖偉 陳能泉│中科廠務一部│

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