Page 62 - Vol.35

Tech
Notes
技術專文

衝擊與擴散之間時，由於障礙物表
圖4、氣體污染物滯留方式 圖7、排放污染物來源分析
面流體流速接近靜止狀態，微粒經
過此區域無法獲得足夠動能而停留
慣性衝擊
在障礙物表面上被收集，此機制主 直接截留 污染物來源 現址防制設備 中央防制設備及煙囪排放
要由微粒直徑與障礙物大小比例決
定，微粒直徑愈大，則此機制愈重 STD Clean 43台
NH 3 : 16ppm (max : 41ppm)
要。
DAS SALIX
NiSix/others Clean 53台
NH 3 : 15ppm (max : 38ppm) SEX
洗滌液水質導電度與處理效率 NA
液滴 Wet Bench process
FSI 2台
氣態污染物藉氣體與液體的接觸， 氣態分子 NH 3 : 9ppm (max : 51ppm) SEX 90% NH 3
使氣相中的溶質傳送到液相中。如 SEX
Facility Chemical Tank 煙囪
先前章節所提「雙膜理論」(Two- NH 3 : 20ppm Wet Scrubber
Film Theory)與亨利常數(Henry's 圖5、污染物濃度與處理效率 SEX
Facility/Lorry Tank
law constant)，兩相氣體與流體 Wet Scrubber
NH 3 : 35ppm)
因污染物濃度差為兩相質傳的驅動 終端改善 適用前端減量
力，代表濃度差越大代表位能越 Others Tool
100
大，同理越潔淨的水吸收速率越
處理效率% 50
快。

污染物濃度與處理效率 圖8、廠區標準RCW系統供應架構與差異圖
0
這可以視為雙膜理論的另一種應 0 100 200 300 400
用，如 圖5。雖廠務桶槽區污染物 濃度(ppb) 各廠標準設計 3000CMD Cooling
LSR Tower
濃度高，但經過混合、稀釋進入中 CCR RCW01
央洗滌塔之後濃度下降，間接導致 CWR Supply SEX
AWR Tank central SEX Drain HF
洗滌塔處理效率不佳。進一步解析 圖6、排放污染物總表 UPW ROR scrubber system
檢測結果可發現，混合後製程排氣 City Water 650CMD
SEX SEX Drain
濃度落在100ppb以下的時候，處 central AEX MD
scrubber SYSTEM
理效率將低於70%，反觀當前端排 氯氣 Cl 2
2.3 6%
放濃度>100ppb以上時，就具有在
五酸 Total Acid F15P3/4 Design SEX drain 回收再利用
現址設置濕式洗滌塔進行預處理的 5.6 15%
價值。 SEX
central HF
MAU UPW ROR scrubber system
NMHC VOC 氨氣 NH 3 ROP
7.4 20% 22.1 59% HPM AWD AWR system
AWD (O 3) RCW02 SEX AEX MD
ACF RO Supply central
Advance system Tank scrubber SYSTEM
ROR
計畫方法 HFDR RO/MD
CCR ROP LSR ROP
RO UV MB
CWD ROP
污染物來源分析 CWR system RCW02 Cooling
Supply
ACF RO LSR Tank Tower
以N28成熟半導體製程廠區進行污
排放進入酸排洗滌塔導致氨氣處理 洗滌塔水質皆由RCW01(Reclaim ROR
染物來源分析，污染物排放總表 CWD MD
效率不佳，因此透過調整pH與增加 City Water)所供應，酸/鹼排洗滌 AEX drain 回收再利用
如 圖6所示，其中排放量最大宗為
換水量進行酸排洗滌塔水質改善以 塔(SEX/AEX)處理後之廢水各別排
NH 3 22.1噸，共佔總排放之59%，
提升去除效率。而主要無機酸排放 放至氫氟酸處理系統(HF system)
污染物排放分析如 圖7 ，酸排管道
來源為廠務化學桶槽及廢水桶槽， 及氨氮處理系統(MD system)，酸
中主要氨氣來自於單片式酸槽製程
皆已加裝現址尾氣處理設備進行污 排廢水氫氟酸處理系統處理完成
(Single Wafer)，包含STD Clean共 RCW02，由MAU(Make Air Unit) 膜理論(Two-Film Theory)，越潔淨 氮(MD)系統處理，產水則是經由
染物前置處理。 後，進入AWD系統進行pH調整後
43台，NiSix/other Clean共53台， 排水及UPW ROR供應如 圖8所示， 的水吸收速率越快並提升洗滌塔去 UV(紫外光)及混床樹酯塔(MB)進行
約佔酸排管道中氨氣排放量90%， 外排，鹼排洗滌塔AEX廢水經由 F15P3/4 RCW01/02水質差異分 除效率，另於水回收及水污處理方 精煉處理後，其產水再次供給洗滌
現已依現場位置需求針對STD MD system處理後，進入AWD系統 析如 表3所示，於空污方面，洗滌 面則是將酸/鹼排洗滌塔排水(SEX/ 塔，達成水質循環使用與污染物妥
洗滌塔回收水系統架構探討
Clean機台加裝DAS Salix進行前處 進行pH調整後外排。而F15P3/4 塔使用更純淨(低導電度)洗滌水進 AEX drain)，經由AWR/CWR水 善處理之目的。
理，因單片式製程酸氣與氨氣混合 針對各廠水處理系統標準設計， 則是將洗滌塔來源水更改為 行廢氣處理，依據上一章節所提雙 回收系統，將廢水濃縮後進入氨

62 FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 63