Page 65 - Vol.35

Tech
Notes
技術專文

於100的天數，也就是達到不健康
表 3 、F15P3/4 RCW01/02 水質差異比較 [7]
標準的天數達到71天 ，顯示改善
空氣品質之急迫性，藉由洗滌塔水
F15P34 RCW水質比較 cond (µS/cm) TOC (ppm) pH 終端用戶
質改善作為，冀望能達到污染減量
的目標，改善空氣品質，體現企業
RCW01 <400 <3 9.0-11.0 冷卻水塔
社會責任。

RCW02 <20 <0.3 6.5-7.5 中央洗滌塔

參考文獻
表 4 、F15A RCW 循環水水質分析表
[1] 空氣污染防制專責人員訓練教材－氣狀
污染物防制，環訓所，2017
改善前 改善後 改善前 改善後 單位 [2] H.M. Chien et al, “Field enhancement
RCW RCW of packed-bed performance for low-
SEX03循環水 SEX06循環水 SEX03循環水 SEX06循環水 concentration acideic and basis
waste gases from semiconductor
manufacturing process”, Journal of the
Air & Waste Management Association
導電度 μS/cm 334 5.3 1297 310 343 334 μs/cm
55, pp 647-657, 2005
[3] 陳開亨，2004，利用微水霧改善傳統填
NH4+ mg/L 18.5 0.69 28.4 57.5 86 116 ppm(mg/L)
充塔對HCl氣體去除效率之研究，碩士
論文，國立交通大學環境工程研究所
氨氣 mg/L 14 0.53 22 44 66.5 90 ppm(mg/L)
[4] 半導體製造業空氣污染物排放標準
[5] 空氣污染防制理論與設計，鄭宗岳、林
鴻祥編著第五版
[6] 工研院，簡弘民、吳信賢，低濃度酸鹼
表 5、提升補水量酸排管道氨氣九連檢測確效 廢氣高效率洗滌處理技術，2004
[7] 行政院環境保護署空氣品質監測網
3
實驗條件 待測物 檢測值(ppm) 風量(Nm /min) 總量(ton/hr) 年總量(ton/yr) 單台削減率
補水量 25 CMD P172 氨氣 9.0 1123 0.000421642 3.69 30%

補水量 50 CMD P172 氨氣 5.9 1191 0.000293147 2.57
單台削減量(ton/yr) 1.13

結果與分析 使用越乾淨的水將提升氣態中汙 結論
染物溶解至液態中。

經由P3/4機械課與水處理課努力不
如先前章節所提，影響洗滌塔之效 懈合作下，於LB2完成酸排及鹼排 半導體產業所排放的廢氣濃度雖然
率關鍵因子有洗滌水pH、水質導電 洗滌塔排水分別導入AWR及CWR 屬於低濃度範圍，但是因為風量極
度、氣體滯留時間及污染物濃度四 回收系統處理完成後供回洗滌塔重 大，排放廢氣的處理結果對區域性
項因素，其中針對前兩項尋找洗滌 新使用，達成洗滌水水質回收再利 空氣品質影響相當可觀。這些污染
水水質改善機會點，擬定策略方針 用之循環系統，經RCW水質檢驗 物飄散至大氣中，有可能會轉化成
如下： 分析，供應至RF之洗滌水水質導電 為潔淨室最常擔心的污染物質，隨
度由334us/cm提升至5.3us/cm， 著各種先進製程的發展，本文探討
– 調整洗滌水pH值，當pH由9調
而提升洗滌塔換水量之循環水檢測 既有廠區污染源分析，找出空污排
降至8，由文獻理論上NH 3 轉化
導電度由1297us/cm降至343us/ 放問題後，透過研究及實驗效率驗
+
NH 4 由55%提升至85%，代表
cm 表4 。經由TLD1酸排管道氨氣量 證，進行洗滌塔水質改善與探討，
洗滌水可將氣態中NH 3 溶解更多
測自檢與第三方九連檢測結果，皆 並針對廢水水質進行回收再利用，
+
至液態中NH 4 ，提升洗滌塔去除
有明顯提升酸排洗滌塔中氨氣去除 冀望達成趨近零排放規劃設計及有
氨氣效率，以降低排煙管道氨氣
率，提升洗滌塔補水成效驗證如 表 價資源循環再利用。而近年來由於
之排放量。
5，九連自檢結果排放量測由9ppm 全台各地空氣品質指標持續惡化，
– 增加洗滌水水量降低導電度，將 降至5.9ppm提升30%之去除率， 尤其台中地區，根據環保署空氣品
洗滌塔換水量由650頓/天提升 換算單台減少排放噸數為1.13噸/ 質監測網數據統計，台中市西屯檢
至1000頓/天，依據雙膜理論， 年。 測站2018年空氣質量指數(AQI)大

64 FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2019 65