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Notes
技術專文
最開始發生的情況。
圖29、新型MeCl2濾網測試參數及性能曲線
圖30、與廠商合作進行新型MeCl2濾網實驗結果
案例一：2017年11月24日，TS突然peak，數值達36.8ppb，更換TS/DMS濾網，濾網效率68%；11月28日，TS再次
peak，測試TS/DMS濾網效率66.8%，如 圖31，濾網效率幾乎不變。
當下人工的風向測量(風向系統未上線)為東南風，沿著上風方向追查，發現東南方人工湖施工，有大量柴油機燃燒，
如 圖32，疑似是污染來源。在停工狀態下TS仍有升高情況發生，可能猜測 : ①可能柴油機燃燒不是其污染源；②柴油機
燃燒是污染源，但週邊還有其他污染源。
TS本身是總硫化物，包含無機硫和有機硫。台積電廠區的TS濾網有DMS和H2S，以及有對應的MAU的水系系統來處
理可溶解性AMC物質。但TS的化學物種類繁多，南京台積電遇到的問題可能是某種無機硫化物，且不能溶于水，才能在
短時間內直接進入無塵室使濾網失效，但具體成分是何種物質，當時未有條件進行進一步分析確定。
因為TS平時在baseline以內，升高情況較少，因此我們還需要通過其他特殊案例來具體分析。而近期復工後頻繁出現
的異常案例，對於我們接下來分析和討論帶來了很大的便利。
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