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圖27、縱向分佈採樣結果 101 102 103 104
通過這一系列的研究和追查，我們可以肯定，南京台積電在廠內存在污染源，在廠外也同時存在污染源。應對此問題
，我們無法去通過進料或施工管制來有效控制，是否有其他方法可以用以預防?內在可以通過管理，但外在只能通過濾網
來進行去除，台積電廠內目前無專門針對MeCl2的濾網，因此我們希望能找到能夠長期有效過濾的MeCl2濾網。
我們先來參考臺灣相關測試資料，以下是臺灣廠對三家濾網廠商提供濾網的測試結果，如 圖28，由結果來看，其中
兩家MeCl2處理效率符合需求。但能否長期有效的處理MeCl2成分，我們仍需對其做進一步的耐久測試。
圖28、臺灣廠濾網效率測試結果
以下是溝通濾網廠商，對其MeCl2新型濾網的實驗，原廠提供參數及性能曲線，如 圖29；據資料說明，濾網過濾有
效狀態下可維持800hr，符合廠內更換濾網的標準。
以下是在南京廠內MeCl2濾網實際環境濃度下測量情況，測試環境為2F Sub-fab，以實驗室Canister為分析工具，濾
網入口端MeCl2濃度>5ug/m3以上，測試條件成立，但測試結果僅維持14hr後濾網宣告失效，如 圖30。
我們除了對該家濾網進行測試以外，也同時在尋找其他家廠商的濾網資料，雖然大部分的原廠測試資料在合格範圍，
但要考慮到實際效用和成本，其耐久測試是必不可少的一環；該題目需繼續研究，但方向性也需要精准，確定能夠長期有
效抵禦外氣MeCl2才是我們的最終目標。
TS的異常情況與MeCl2不同，因對於TS廠內有對應的濾網及水洗機制，因此其大部分時間TS均處在控制範圍內，但會
在有段時間內突然升高，且濾網效率並未有任何變化，水洗導電度也無任何變化。我們通過以下案例，先來回顧一下問題
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