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技術專文

若~Q則~P，「則若(冷凝壓力沒有上升)則(冷凝器沒有破管)為 異常冰機經過修復(例如冷媒回收再填充)仍然可以回到其原本
真」。 效能，意旨仍維持封閉性系統之物理量不變，再次證明了此AI
圖12指出2019年南科燒毀冰機維修完畢後，2020年冰機 模型可作為監測一般運轉狀態的參考依據。
再次開啟時其壓力與2018資料訓練模型完全貼合。由此可知，

圖12、異常冰機維修前後冷凝壓力與Baseline疊合圖

4.3 密閉系統負壓洩漏偵測與案例 時確認密閉系統有無洩漏風險。
台積公司採用的冰機以R123負壓式冰機為大宗，佔比大
於90%。此類冰機系統停機時冷媒蒸發壓力(-30~-60kPa)低於
大氣壓力，若系統密閉性不夠而使得停機時不凝結氣體鑽入冷
媒系統，不但有熱交換效率下降與含水率緩慢上升的風險，嚴
重時更會導致高壓喘振、高壓異常跳脫、爆裂閥破壞與冷媒損
失等問題。以往管理負壓洩漏都是依賴排氣機的排氣時間作為
指標，但可能也會因為排氣機故障排造成持續洩漏而不知。圖
13指出系統開機時高壓偏高，排氣作動將不凝結氣體排出，可
由冷凝壓差觀察排氣做動後壓差趨勢來取代排氣時間。 圖14、排氣系統機板故障狀況下，持續洩漏時序圖

4.4 冷卻水水質異常對壓力影響與案例
冰機系統冷卻水因長菌導致水質變差而間接影響主機銅管
熱交換不良，也因為共用水池的原因，所以水質異常發生通常
會是大範圍的冰機受影響，以往的水質檢驗是採用水質採樣與
觀察趨近溫度來管理長菌與熱交換惡化問題，但兩週一次的水
質採樣即時性太差，趨近溫度易受冷凍噸與外氣焓值影響而干
擾判斷，所以兩者都不算是判斷銅管熱交換不良的良好指標。
由運轉經驗與理論得知，熱交換不良造成壓縮機升載而冷凝壓
力上升，所以冷凝壓差也是偵測水質異常或銅管熱交換是否良
好指標。圖15指出南部廠區2021年4月冷卻水水質異常影響超
過10台壓縮機案例，透過冷凝壓差即時偵測，快速統計出被影
圖13、排氣系統停機洩漏、開機冷凝壓階梯狀下降時序圖 響的機台台數，其中最大壓差達30kPa，並與趨近溫度交叉比
對後確認水質出了狀況，對比耗時兩週的水質採樣分析，此方

另外一種嚴重狀況是當排氣系統故障時持續洩漏，造成排 法更快更精準。
氣時間歸零而造成工程師無法識別洩漏異常，僅可依賴雙月定
保人員進行排氣機測試才得知，如 圖14所示，如此，在定保與
定保期間形成的空窗期，冰機系統將處於一個高風險的狀態。
若透過冷凝壓差線上異常偵測，在定保間AI持續線上偵測，即

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