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表2、Exhaust一條龍系統的十個階段與其定義 ② 由Exhaust選擇Tool，可直接選取或鍵入想找的Tool，如
圖10。
③ 鍵入所需的FDC name與日期後按APPLY，如 圖11。
④ 搜尋後可得到Tool FDC與其上下限，交叉比對EE給的
FDC Chart，可看出完全一樣，如 圖12。
⑤ 由開機經驗的振幅推估此FDC區間是否會觸發Alarm，
若會則告知設備需調整，以Chart來看開機振幅不會觸
到FDC Alarm。
⑥ 查看其他Chamber的FDC，重複③~⑤。
圖7、Auto-mail產出與分析
4.2 查詢FDC與告知
若廠務端需切換機保養或進行可能影響Submain exhaust
壓力的動作時，之前都以mail告知下游設備且詢問Tool FDC是
否偏移，設備可能無法即時回覆，可利用整合廠內Tool資訊
與Exhaust壓力的系統，加速廠務端動作進行，系統使用界面
如 圖8。 圖9、選取與AEX相關的Exhaust
• Case：新擴充AEX開機
F18P1新擴充AEX後初次開機，雖經由風車運轉曲線與管
路壓力計算得知起機頻率跟Damper開度的位置，但對於Tool
端Exhaust壓力變化還是抱持著謹小慎微的態度，為求FDC分
析系統與Tool端撈取的FDC一致，進行交叉比對。
使用FDC分析系統撈取與AEX相關的下游Tool流程如下，
以Ox-CMP Wafer Reclaim(CW)製程為例：
① 選取相關的AEX Exhaust，Ox-CMP為AH-L30-A104，
如 圖9。 圖10、選取Tool
圖8、一條龍使用界面
FACILITY JOURNAL 03 2022 83
