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Tech
Notes
技術專文
圖4、使用情境說明
圖5、減少在OOB limit晃動時Auto-mail的數量
在Tool FDC alarm的部分，就Tool FDC又可分為U-chart 最小差距)
與T-chart，優缺點如 表1。與FDCIM(廠務自動化整合課)討論 ④ Correlation只計算Keyword相關的FDC_IND，且其值需
後，使用U-chart來進行FDC alarm mail的發出，比較即時且 >0.7，Correlation相關性分析如式1，結果如 圖6所示 :
可快速進行對廠內的應變。T-chart屆時會用來與Exhaust壓
(1)
力比對，使用機械學習分析Tool FDC健康程度，在FDC已有
偏移時會有mail告知廠務端，決定是否將調整Exhaust或Tool
FDC壓力。
表1、FDC U-Chart與T-Chart差異
圖6、相關性分析
Tool FDC在廠內動則好幾萬點，利用以下四點手法，找
出對廠務端Exhaust壓力有意義的FDC： 4. 結果與討論
① 撈取Alarm case時間前1hr+後30分鐘
4.1 Exhaust Alarm處理流程
② 資料處理方式：
過往的Exhaust壓力alarm處理的流程將其分為十個階段，
• FDC_IND缺值使用上一個有數值的時間點資料補
可看出高度依賴人工查詢，經專案將其中六個階段自動化，如
• 3分鐘為單位做Average smoothing
表2，至少可提升83%的效率。而經由Auto-mail的功能，可在
• FDC_IND NA>85%移除
Tool FDC alarm時找出兇手，加速處理該Tool機況，縮短復機
③ 新增FDC spec最小差距%作為排序/rule filter依據(相關性+ 時間，如 圖7。
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