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TSMC/ Facility Published

3.2 限電時不同發電機操作模式的排放物對環境影響

F15P7 三 群 發 電 機 (CUP/FAB_A/FAB_B) 共 34 台， 出 450kW，考量操作模式⑵及操作模式⑶的排放物相
實驗情境設定為廠區配合台電限電 10% 降載運轉如 同因此不列入實驗項目，比較前兩種操作模式分別在
表 3，操作模式⑴單群啟動發電機共 11 台定功輸出 環境噪音、粒狀污染物 (Particulate Pollutant)、氣狀
1385kW，操作模式⑵三群啟動發電機共 34 台定功輸 污染物 (Gaseous Pollutant) 的差異。

表 3：限電 10% 時 P7 發電機定功輸出容量

2022 年 前月 限電 限電容量 每台定功 中科發電機 F15P7 F15P7 每台定功
3月 最高需量 分類 (kW) 輸出 (kW) 總數(台) 啟動台數 啟動台數 輸出 (kW)
(kW)

5% 29,785 1,418 21 7 or 300
中科 595,659 10% 59,568 1,385 43 11 34 450

15% 89,351 1,396 64 15 650

結果與分析

4.1 E-TAP 分析結果

考 量 發 電 機 並 聯 邏 輯 設 定， 進 行 模 式 ⑵ 時 模式⑶ : 限電情境下以三群解聯模式定功輸出，一旦
EH100M~EH600M 僅 能 選 擇 一 顆 開 關 投 入 並 聯， 發生台電停電可視為三群獨立供電發電機群 (P7A/
而 模 式 ⑶ 時 可 選 擇 : ➀ EH100M 或 EH200M； ➁ P7B/CUP) 分別對下游負載供電，因 P7A/CUP 急電
EH300M 或 EH400M；➂ EH500M 或 EH600M 三顆 負載需求量 >100%，此時 P7A/CUP 發電機保護電驛
開關投入並聯。若以單顆開關容量 1250A 計算該顆 SEL700G 及發電機控制器 DEC550 觸發 27/81L，EH
開關最大 : √ 3 × 22.8kV × 1250A=49, 362kW，因 01~11、EH 12~23 分路開關啟斷並使發電機停機，
此操作模式⑵下受限於開關容量，每台發電機最大輸 EH 100~400Main 保護電驛觸發 37 使開關啟斷，除
出功率為 : 49,362/34=1452kW。 影響 P7A 急電負載 AAS /MAU 及 Tool 機台中斷供電，
也因 CUP 廠務供應系統冰水 (5CH/12CH)/ 氣體 (CDA/
模式⑵ : 限電情境下以三群並聯模式定功輸 HCDA) 中斷都將停擺，影響無塵室溫溼度環境，雖然
出，發生台電停電可視為一大群發電機供電群 P7B 供電不受影響，但可謂全廠區皆受影響，需花費
(P7A+P7B+CUP) 對 下 游 負 載 供 電， 雖 然 P7A/CUP 大量時間進行環境恢復及機台復機。
急電負載需求量 >100%，但由於 P7B 發電餘裕充足，
足以補足 P7A/CUP 急電負載需求，故於台電停電時 模式 (2) 故障電流分析結果大於模式 (3)33%，但故障
廠區急電負載皆可正常供電。 電流總電流 23.03kA 小於開關 Ic 啟斷容量 :25kA，開
關能正常啟斷故障短路電流隔離故障點。

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