TSMC/ Facility Published 圖 10:發電機水箱翻修工法 圖 11:發電機引擎冷卻水流向及 IR Scan 量測位置說明 圖 12:發電機加載測試水箱冷卻前後 IR Scan 量測結果 圖 13:發電機加載功率與冷卻水溫 Trend Chart ��