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TSMC/ Facility Published














                    表 4：各廠 ACF 產水時間及水質                                           表 5：來源水 COD 與活性碳去除率關






































                    圖 7：產水時間與活性碳去除率關係






















                    圖 8：CWR 系統 H 2 O 2 去除效率之變化










                                                                                                           ���
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