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VOL.53 廠務季刊 南科再生水廠規劃設計及營運策略

3.3.2 營運目標
依供水時程表 ( 圖 11)2024 供水總量將達每日 6.7 萬
噸為南科台積電總用水量 37% 再生水廠重要性可想
而知。
❶ 初期營運目標：產水品質、監測系統到位、人員訓練

需要半年得建制，期間有賴台積電資深工程師就儀
器分析手法、系統操作及應變能力參與協助建立，
使得操作介面能夠與台積電各廠一致。

❷ 中期營運目標：產能拉高、技術提升、降低營運成本
人機到位後操作穩定，鼓勵員工改善製程瓶頸及參
考國外最新技術讓自已技術提升，降低營運成本增
加競爭力。

❸ 終期營運目標：技術輸出、環境教育
將第一套工業放流水最佳處理方式輸出推動再生水
產業的發展，環境教育場所建立讓一般民眾及學生
都能來參觀，感受到廢水放流轉化成可再利用的水
的環保意識提升。

3.3.3 再生水導入廠區計畫 ( 圖 12)

2024 年 6 月 總供應量達每日 6.7 萬噸，約台積電
南 科 實 際 總 用 水 之 37%。( 含 AP2C、F18P4~8、
F14P8 等新建廠預估量 )。南科 RCW 預估最終需求
量每日 24,125 噸，依再生水供應期程，2021 年 10
月起製程端需使用再生水。導入測試將以 RCW 優先
使用，配合各階段供水，依世代導入製程測試必須讓
UPW 保持在 baseline。

3.3.4 再生水 UPW pilot 系統建置

為能在再生水正式使用前確認 UPW 系統水質 TOC
變異狀況，在再生水廠內部建置一套獨立小型 UPW
pilot 系統 (2CMH) 系統蒐集各段 TOC 數據和去除率
變化並作為系統應變策略依據，來確保先進製程水質
品質一致性。流程架構建立在其 TOC(<0.5ppb) 和
Resistivity(18.2M) 水質需與廠內 UPW 系統相同。

線上量測儀器 on-line 有 Resistivity、TOC( 各段去
除率 )，Off-line 檢測水質有 LC-OCD、Urea、IPA、
Acetone，量測數據以 IOT 蒐集。( 圖 13、圖 14)
圖 11：供水時程

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