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TSMC/ Facility Published
酸鹼加藥的最佳策略。搭配日常 FBC 的操作觀察， ❷ FBC+ 化學混凝操作 :
必能做進一步確保結晶功能。
除 FBC 外，將加設全量化學混凝單元，可與 FBC 並
▪上升流速控制 : FBC 循環泵出口設有壓力傳送器，當 聯或串聯操作，提供更多硬度去除之操作彈性達到強
FBC 晶體粒徑變大時，循環泵出口背壓將增加，此 化及預防效果。
壓力值傳送至控制器做循環泵變頻調節控制，以確
保其上昇流速能控制在固定範圍內，穩定 FBC 操作。
圖 5：FBC 控制
3.2.3 尿素降解系統
尿素 (Urea) 於半導體製程是關鍵微量污染物，基本上 ❸本計劃之尿素降解模擬試驗 ( 圖6)，主要是透過
尿素濃度經過二段生物處理單元 BioNET 後已降解到 CFD(Computational Fluid Dynamics) 與 Ansys
50ppb，另需透過化學加藥處理方式並進行多段反應池 Fluent 軟體確認未來尿素反應池基本構型，並以尿
串接，務必達到濃度低於 5ppb 目標符合台積電要求。 素 <5ppb 為目標，因此模擬結果在本案進流尿素
濃度為 50ppb 與溫度 15℃下，尿素約 190,000 秒
但為求謹慎特別設置 24 小時停留時間的尿素反應池 (52.8 小時 ) 後達到初始動態平衡，進流流速 2m/s
條件下，確保尿素濃度可以達到 5ppb 以下，本團隊 情況下，換算尿素反應池所需停留時間約 19 小時，
與中鼎採取以下措施 : 可達小於 5ppb 產水水質。
❶於尿素反應池入口處設置 on-line 尿素偵測儀，將
即時水質資料傳至控制系統來調整 NaBr 及 NaOCl
的加藥量。
❷同時增加尿素反應池內隔板延長流道，此經過尿素
降解數值模擬可確認尿素濃度可以達到 5ppb 以下。
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