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新技術的應用

應用於 Manifold 配管上
以往的 IGS( 模組化氣體供應系統）其流路不僅很長，而且呈 V 字形，維修時要更換四個
六角螺帽、使用上非常麻煩。相對於此，倘若使用小巧輕便的新型接頭所做成的 Manifold
配管（圖 7），不僅其流路呈直形，需要更換的六角螺帽也只有一個而已，在維修上相形輕
鬆許多。除此之外，在成本上也有很大的節省空間。（Manifold 配管如圖 7 所示）
此新概念的 Manifold 配管，在日本市場已開始受到青睞 , 逐漸展露頭角。
例如某大型設備廠商，使用新型接頭來連接閥門、MFC、壓力調節器、壓力開關、過濾
器等等，將之作為 IGS 的替代品。
另外，某大型氣體廠商的氣體分析生產線上，也採用新型接頭來連接閥門、壓力調節器、
壓力計等等。

結論
使用一般品的 Manifold 配管
降低不良率與創造安定的生產環境，是所有半
導體製造廠刻不容緩的課題。和其他的配管零件相
較之下，雖然接頭的體積較小，但是卻無法輕忽它
在配管上的功能，因為在某種程度上，它是決定配
管品質是否能夠提昇的重要因素，而配管品質的提
昇，則和工廠產品不良率的降低息息相關。在此所
介紹的新思維接頭，不只可以提昇配管純淨度的維
持，同時也能變身成為『解決以往螺紋狀接頭所衍
使用新產品的 Manifold 配管 生出來的各種問題』的最佳武器，進而實現追求高
品質配管的夢想。
半導體廠所使用的配管零件，小型化已是一種
圖 7：使用新舊型接頭之 Manifold 的比較圖 [5] 必然的趨勢，例如 IGS( 模組化氣體供應系統），
VMB/VMP，以及各種設備配管等等，都被要求必
須在有限的空間裡發揮最大的利用。我也深信在不久的將來，在此介紹的高品質小型化接
頭，一定會隨著在業界知名度的提昇，成為業界配管使用上的引領潮流指標。

參考文獻

[1] Technical Report No.16 “VTF Fitting”of IHARA SCIENCE CORP.
[2] Technical Report No.34 “Clamp-Kun”of IHARA SCIENCE CORP.
[3] “Clamp-Kun” 操作要領書
[4] Technical Report No.16 “VTF Fitting”&Technical Report No.34”Clamp-Kun”
[5] “Clamp-Kun” 應用資料

Metal

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