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技術專文

表四、n=3 的擬合結果，K 的合理值約介於 1-10 等級

n 機台 K r offesst RMSE 擬以核結果
3 HDCBK1 109.0 1.62 1.1 0.25 K 和 r 太大
3 HCUVA2 6.5 1.03 0.5 0.02
3 HDOXD1 9.04 0.94 1.1 0.15
3 HCSCD5 1.52 0.64 1.1 0.11
3 HCEPA3 88.57 0.73 1.3 0.99 K 太大
3 HSSK12 21.70 1.34 1.8 0.24
3 HIHIV9 36.89 0.74 1.0 1.27 RMSE > offset
3 HCAPN1 8.22 0.59 1.1 0.26
3 HDRNA1 16.41 1.03 1.2 0.34
3 HSMGA2 18.92 0.71 0.2 1.06 offset 太小
3 HCSCN5 0.65 0.37 1.8 0.04
3 HPSS02 0.60 0.34 1.1 0.04
3 AMHS380 5.39 0.64 1.0 0.05

供電電壓用 210 伏特來計算，機
台使用的電流大小約在 10-100 安
結果與分析 結論
培。因此，知道 d 值和電流的大小，
就可檢視 K 值擬合結果是否有意
在檢視擬合結果之前，必須了解， 義。 目前可根據實際測量值，來定
就算擬合的數據與實驗結果非常吻 出機台的安全磁場作業距離
合 (RMSE 很小 )，並不代表擬合公 從 表二、三、四及考量 4 個參數 K、r、 (EMC distance )，即機台磁場衰減強度
式就是正確的！還要看看擬合出來 offset、RMSE 的合理範圍，來分 不再隨距離變化，可依磁場大小分
的參數是否有意義，最容易驗證的 析 13 台機台的磁場衰減距離擬合。 為三類：假設測量距離 X=0 位置，
值就是 r( 機台內產生磁場的電源到 當 n=1 時，有 10 台機台顯示擬合 當 磁 場 強 度 >80mG， EMC distance
外殼的距離 )，r 的合理值應在 1.0 結果佳 圖四之 1 ，但其它參數值卻 >5.7 公尺；當磁場強度介於 20mG
或 2.0 公尺以下，視機台大小而定。 不具有物理意義 表二；另有 3 台則 與 80 mG 中間時， EMC distance >3.0
另外如為了讓 RMSE 很小而調整 擬合不成功（offset 太小或 RMSE 公 尺； 當 磁 場 強 度 < 20mG， 則
offset 的大小到 <0.2mG 以下，這 值太大 圖五之 1），畢竟磁場與距 EMC distance >1.8 公尺。如果能利用
擬合結果也就不準了，因為 offset 離成一次方反比主要成立於磁場測 機台輻射出磁場強度會隨距離成二
為環境背景值即便是無任何機台環 量距離遠小於載流導線長度。當 次方或三次方反比的擬合結果，再
境背景都至少 0.3 mG。還有 K 值 n=3 時，顯示擬合結果成功率較高， 輸入正確的電流和結構參數 ( 機台
的大小也是另一個觀察的指標， 其次才是 n=2（圖四之 2，n=3； 圖 內主電流線長度，迴圈面積 .. 等 )，
K 值為 d 參數和機台電流乘積所決 五之 2，n=2），磁場與距離成二 不必經過費時費力繁瑣的測量便可
定，當 n=1 或 3 時 d 皆為一常數， 或三次方反比，此擬合結果算是十 決定無塵室內上百機台的安全磁場
分別是 1 和磁偶極面積大小 ( 將電 分合理，因為機台裡產生磁場的多 作業距離，有此資料，以下兩個目
源當成磁偶極其面積大小約 0.01- 是有限長度大電流導線或小迴圈的 的則可輕易達成：一、可確定機台
2
0.1 m )，當 n=2 時 d 就為一個變 變壓器。若還要更仔細討論，像是 彼此之間的 EMC 安全距離；二、
數，d= 載流電線長度 ‧sinθ，θ 變壓器的電流大小可再乘上線圈匝 可依此磁場的衰退距離使無塵室內
是距離方向與電流夾角，隨著測量 數，K 值的容許範圍將可加大，則 機台的佈置空間利用最佳化。
距離的改變 θ 也在改變，計算時 n=3 會有更多擬合成功的機台，例
o
假設用 45 角當平均，機台電源處 如：HDCBK1 和 ACEPA3。 圖四、
載流電線長度約 0.5-1.0m。一般機 五的圓點為實際測量值，曲線為擬
2
3
台的電功率約在 10 -10 瓦特，若 合結果。

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