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表二、n=1 的擬合結果,K 的合理值約介於 10-100 等級


                     n      機台           K           r            offesst     RMSE         擬以核結果
                     1      HDCBK1       9.22        0.34         0.1         0.64         offset 太小
                     1      HCUVA2       1.54        0.24         0.1         0.05         K 和 offset 太小 太太
                     1      HDOXD1       2.22        0.20         0.6         0.10         K 太小
                     1      HCSCD5       0.58        0.10         1.0         0.06         K 太小
                     1      HCEPA3       29.95       0.13         0.1         6.36         offset 太小 RMSE 太大
                     1      HSSK12       3.66        0.37         1.0         0.13         K 太小
                     1      HIHIV9       12.8        0.14         0.1         1.54         offset 太小 RMSE 太大
                     1      HCAPN1       3.72        0.91         0.2         0.21         K 和 offset 太小
                     1      HDRNA1       4.07        0.26         0.3         0.01         K 太小
                     1      HSMGA2       6.75        0.13         0.1         2.86         offset 太小 RMSE 太大
                     1      HCSCN5       0.47        0.04         1.7         0.05         K 太小
                     1      HPSS02       0.57        0.04         0.9         0.04         K 太小
                     1      AMHS380      2.59        0.12         0.1         0.16         K 和 offset 太小




              表三、n=2 的擬合結果,K 的合理值約介於 5-50 等級


                     n       機台           K           r           offesst      RMSE        擬以核結果
                     2       HDCBK1       24.8        0.97        0.8          0.28
                     2       HCUVA2       2.4         0.63        0.4          0.02        K 太小 太太
                     2       HDOXD1       3.74        0.58        0.9          0.13
                     2       HCSCD5       0.570       0.34        1.1          0.09        K 太小
                     2       HCEPA3       42.73       0.43        0.4          0.66        RMSE > offset
                     2       HSSK12       6.71        0.85        1.6          0.21
                     2       HIHIV9       17.4        0.43        0.8          0.60
                     2       HCAPN1       4.3         0.33        0.9          0.20
                     2       HDRNA1       6.13        0.64        1.0          0.26
                     2       HSMGA2       9.14        0.41        0.1          1.50        offset 太小 RMSE 太大
                     2       HCSCN5       0.42        0.18        1.8          0.02        K 太小
                     2       HPSS02       0.41        0.17        1.1          0.02        K 太小
                     2       AMHS380      3.23        0.39        0.6          0.09






              而無其他微擾的修正 ( 好比空氣造                式如下 :                           磁場的電源距離 (meter)
              成的阻抗衰減或碰到金屬面的反                   B = K · (r +X)  + offset        因為機台都有外殼包覆,所以磁場
                                                          -n
              射…)。結果可概分成三種 : 磁場與                                               只能在外殼以外量測。
                                               B 磁場測量值 (mG)
              距離成一次方反比 -  磁場測量距離                                               故 r 是機台內產生磁場的電源到外
                                               K= d · μo · I / 4π
              遠小於載流導線長度;磁場與距離                                                  殼的距離,
              成二次方反比 -  測量距離與載流導               μo ( 真空磁導率 )= 4π 10-7 (T · m /   X 是磁場量測點到外殼的距離。
              線長度無極大極小的差距;磁場與                  A) = 4π (mG · m / A)
                                                                               offset 為環境背景值 ( 無塵室內
              距離成三次方反比 -  考慮來回線路               d=1 當 n=1;
                                                                               無任何機台作業的磁場背景值約
              的 AC 相位彼此干涉,還有電流源                d= 產生磁場的有效載流電線長度,               0.3–0.5mG),
              是一個很小迴圈的磁偶極 (magnetic            當 n=2;
              dipole) 或是磁場測量距離遠大於載                                             擬合 過程分別將 n 值分別 帶入
                                               d= 磁偶極面積大小,
              流導線長度等情況。                                                        n=1、2、3, 並 調 整 offset 值 使
                                               當 n=3;
                                                                               得 誤 差 ( 均 方 根 誤 差 RMSE: root
              再將這些測量值依此三種來做資料                  I 產生磁場的電流大小 (Amp)               mean square error) 落於 <offset 的
              曲線擬合 (data fitting) ,擬合的公        r +X 測量距離 : 磁場量測點到產生            合理環境背景值範圍內。



                                                                              NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL         JULY 2012  51
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