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圖十、電解槽構造與原理

H 送氣

Cathod H 的移動
+

Anode

純水供給(原料)
多餘水與O 排出
+
Anode反應：H O→2H +1/2O ↑+2e -
+
-
Cathode反應：2H +2e →H ↑

也跟著改變了，因此 C 值也可以計 極反應的電子的摩爾數（即化合
作： 價），(M/n) 又稱化學當量 (Eq)； 參考文獻
d ln
∆ H −⋅ (k ) F 為法拉第常數，即電解 1 電化學 [1] 今岡孝之：LSIöLCD 洗淨の課題と機能
C = solv = H ,cp
R d (1/ T ) 當量物質所需電量。 水を用いた新しい洗淨技術，クリーン
テクノロジー，日本工業出版，P52-55
其中 Δ solv H 為溶解熱；R 為理想氣 法拉第電解定律適用於一切電極反 (2000.6)
體常數。 應的氧化還原過程，是電化學反應 [2] 岡野勝一：超音波洗ö技術と微細化へ
中的基本定量定律。 の課題，月刊トライボロジー，新樹社，
原理 2 道爾頓分壓定律 P51-53 (2008.3)
電解食鹽鹽水（氯化鈉溶液），陽
圖九描述的是理想氣體的特性。這 [3] Imai, et al. : Japanese Journal of
極產生氯氣，陰極產生氫和氫氧化 Applied Physics (2009), vol. 48 no. 4
一經驗定律是在 1801 年由約翰‧
鈉溶液。
道爾頓所觀察得到的。其描述如下：
在組分之間不發生化學反應的前提
下，理想氣體混合物的總壓力等於
各組分的分壓力之和。數學描述為：
P total = p + 1 p + 2 + p n 結語
, , 為每一個組分的分
其中 p 1 p 2 p n
壓。結合玻意耳定律和阿伏伽德羅
新導入至細微構造的材料有很多都
定律，可以推知理想氣體各組分的
容易受到毀損，同時對蝕刻的容許
分壓之比等於其摩爾組分之比，即
量也很低。機能水將會做為以超純
p 1 p 2 p n
m 1 = m 2 = = m n 水為基準的混合洗淨液，應用在新
製程的洗淨方面。希望藉由適合洗
, , 為每一個組分的莫
其中 m 1 m 2 m n
淨對象之機能水的選定，以及配合
耳數。
洗淨室內環境控制或物理性的洗淨
方法來使用以達到最佳化，並對新
電解 : 法拉第電解定律 世代的濕製程 (Wet Process) 能有
物質在電解過程中參與電極反應的 所貢獻。
質量與通過電極的電量成正比。不
同物質電解的質量則正比於該物質
的化學當量。
MQ
m =
Fn
(F = 96485.3383 0.0083C mol )
/
±
其中 n 為 1mol 物質電解時參與電

NEW FAB TECHNOLOGY JOURNAL JUNE 2013 47