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Tech
Notes
技術專文
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文│王義信 山下幸福 │ 新廠設計部 奧璐佳瑙科技股份有限公司│
UPW Future Trend:
Functional Water
機能水的應用
本文主要介紹目前及未來機台超純水可能使用的走向，機能水的應用及原理，機能水可增加去除效
率及減少化學品的耗量，如 O 3 +DIW，去除有機物 ( 取代 SPM 功能 )，CO 2 +DIW，防止帶電，增加
微粒子去除效率…等。目前台積公司超純水水質中央供應系統已勝過 ITRS 2020 的標準 ( 微粒子計
數器已超出線上量測控制器偵測極限 ) ，新製程線徑，水分子已無法洗淨完全，此時機能水的應用
更顯得重要。
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