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Database Enhancement of the

Tools Utility

Requirement

for New Fab Project

新建工程機台需求

之資料庫進階強化計畫

新廠的設計，是依製程生產機台的需求（Tools Utility Requirement）及位置（Layout）進行各種廠務供應系統
之設置與規劃；本篇將闡述藉由 IDI (Initial Design Integration) （註一） 進行資料庫整合及應用，並提供定址功能（By
location）因應機台位置變更時快速計算建廠設計所須建置廠務供應系統之容量。

文│朱慧明│新廠規劃部│

前言 現況分析

過去的製程技術演進，研發廠區試量生產達到穩定 新建廠房規劃及設計是依據產能規劃進行，根據不
後才會由量產廠生產，隨著製程進入高階世代，目 同的製程定義找出機台的標準需求作為建廠設計時
前新建廠模式已採取研發及量產同時進行，以縮短 的參考，為能達到相同高階世代製程的設計標準，
研發到量產的時程提高公司的競爭力，面臨製程仍 我 們 運 用 了 機 台 二 次 配 管 PRS (Process Release
持續開發中，往往遭遇機台需求一再變更，廠務設 Standard) 系統在 2014 年共完成 719 台製程機台
備也一再修改，如何能早期掌握高階製程機台對廠 的資料收集、確認並藉由 IDI 系統進行資料庫整合
務供應系統之需求，並運用 IDI (Initial Design Inte- 建立了新廠設計標準的 Utility 資料庫 圖一。
gration) 系統工具進行整合與應用，已在建立機台需 資料庫隨先進製程需求而有所不同，可應用於不
求 (Utility) 資料庫的文章中闡述 （註二） ，然而對設計者 同 世 代 製 程 Utility 的 變 化 分 析， 如 HPM (Hazard
而言，仍無法提供與機台位置 (Layout) 的相對關係， Process Material) 需求日益繁多，依不同系統分析
於是在進階強化計畫中將探討如何運用機台位置與 其種類增量，再依面積權重推算 HPM 空間之評估
IDI 系統進行定址功能，以達到廠務系統管路 (Utility 圖二 ，如不同世代製程的特殊氣體供應系統 (Gas)
distribution) 在廠區配置對應的相對位置關係。 可預估面積增量為 1.14 的需求，化學供應系統

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慧 明 朱 H. M. Chu 何從源頭的清楚定義，讓設計同仁更能掌
握正確資訊，藉由好的工具提高工作效率。
興趣：游泳、釣魚、騎腳踏車。

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2015 23