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圖六、新製程機台需求

Hookup Hookup Hookup
PRS QC Report As-built
專案使用者
Tools layout
機台utility IDI
(傳簽單) 製程機型 Tools list
Database Capacity
Golden tools
utility種類 utility使用量
New tools
資料收集 (Intput) 需求確認 (Requirement) 系統工具 (System) Capacity (Output)

更為重要 圖六 ，目前與研發單位 (RD & RDPC) 已建
圖七、系統發展運用
立溝通管道，分別就材料 (Material)、各區域製程需求
(CMP/WET/LIT) 及裝機小組 (CST : Central Start-up
Team) 定期開會掌握機台未來需求與趨勢的變化。
未來系統發展運用上 圖七 ，與機台的 PRS 資料庫連
程式應用產出
Function 結 (Program Automatic) 及 程 式 應 用 產 出 (Function
Application
Application) 則於未來完成後再以專文介紹。最後期望
透過好的工具能提高同仁們的工作效率。

機台需求 備註
程式自動
資料庫建立
轉換功能 Data Base for [1] IDI (Initial Design Integration) 系統主要是應用在新建廠專案，藉
Program Tools Utility 由機台數量及機型清單與機台廠務需求等資料庫整合計算，可以
Automatic Requirement 依據各廠務系統、樓層區域或依不同機台需求時程間，計算各廠
務系統需求容量，解決設計人員各自資料蒐集及反覆計算統計的
時間，提高同仁們的工作效率。
[2] 新工季刊 MARCH / 2014 VOL.13 : 新廠規畫的前導者 - IDI 系統
再進化。

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2015 27