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表一、常見問題

項目 常見問題 新廠 新廠工程 IDI System solution
設計部 管理部

1 機台Utility資料不正確 V V 主要是對應機台的FAC Code與IDI不同匹配(Mapping)
2 機台Utility需求量 V V 目前仍以傳簽單提出的需求量為依據(設計團隊有對應的需求量)
3 機台Utility種類及數量需求 V V IDI已經與Tools Hookup PRS完全符合

4 機台列表(Tools list)要與哪一台匹配(Mapping) V V IDI已經與Tools list中的製程功能與T-II完全符合，並標示對應之機台
對應機台Utility資料 FAC Code方便同仁匹配(Mapping)
5 機台位於Layout的數量及位置 V V
6 可依機台位置Layout計算Utility種類及數量需求 V V
7 IDI資料可否匯出自行編輯 V V

圖三、IDI 系統總需求容量的資料運算

圖四、機台位置 (Layout list) 定義為可辨別的通用格式

Layout Tools Utility

區域進行編碼 (Location, Area, Bay ID) IDI 機台utility資料庫
並區別左右邊位置及數量

順序 FAC Code Function Vendor Model Building Floor Bay ID Bay ID L/R Area Location ID Layout Q’ty
編碼 (IDI) (IDI) (IDI) (IDI) (ID) (IDI) (IDI) (IDI) (IDI)

G-001 P6NAA135 CRV Toyota FEB-30 FEOL 3F 3F HPH-D HPH-D-L Litho HPH-D-2/3/4 3
G-002 P6NAA135 CRV Toyota FEB-30 Support 3F CUP 3F HWR-A HWR-A-R CWR HWR-A-13 1
G-003 P4NAS081 ATM Nisson 3200 FEOL 3F 3F HPH-H HPH-H-R Litho HPH-H-14 1
G-004 P6NAA030 ATM Nisson 3200 FEOL 3F 3F HPH-H HPH-H-R Litho HPH-H-15 1
G-005 P6NAK044 Zusi Suzuki 9850 FEOL HPM 3F HCM-B HCM-B-R CMP HCM-B-11 1

HPH-H

15 14 13 12 11 10 09 08 07 06 05 04 03
02 01

NEW FAB ENGINEERING JOURNAL MARCH 2015 25