Page 59 - Vol.23

圖 8、擴散製程機台排水示意圖

機 台
Air Air
DIR
AWD 開 關
CWD
HFD O 3 drain
Air valve
AWDO 3
閥件異常一直有水在排

圖8 所示，因閥件長期切換下，部
分排放水閥閥件作動不良，導致使
圖 9、改善前 AWD (O 3 ) 導電度
用的化學品會流至 AWD (O 3 ) drain
內，而導致此機台運轉時，發生誤
排入而導電度異常升高 圖9，經設
備協助下將閥件重新鎖緊後，此導
電度異常已徹底改善 圖 10，增加
AWD (O 3 ) 回至純水系統回收率。

結論

本篇文章針對 AWD (O 3 ) drain 回收
至純水系統再使用，利用專管專收
將水質單純化，水質量測分析確認
水質特性，量身訂做活性碳塔處理
圖 10、改善後 AWD (O 3 ) 導電度
單元，將原本氧化性廢水藉由簡單
單元設計、材質變更及相關安全防
護，成功地回收至純水系統使用。
專管專收可減少水質異常時問題的
確認與解決時間，確認水質特性
可針對其特性進行最佳處理單元設
計，量身訂做處理單元不僅可提昇
廠內水資源利用效率，更可以大大
降低成本運轉。往後廠內廢水回收
趨勢，必定朝回收至純水系統再利
用方向前進，此流程及回收設計概
念可做為未來水回收的主要觀念。

參考文獻
[1] 林龔樑 (2004) 半導體濕式製程環境中臭
氧水的安全風險監控。工業安全衛生月
刊，2004.10，19-26。
原本為鍍鋅材質改為不鏽鋼內襯鐵 如 AWD (O 3 ) 來源導電度異常偏
[2] Jianjun Lin, Akimasa Kawai, Tsuyoshi
氟龍材質，以有效處理 AWD (O 3 ) 高，經分析異常來源水導電度可達 Nakajima (2002) Effective Catalysis
for Decomposition of Aqueous Ozone.
氣體並防止風管再破壞風險。 1,000 μs/cm 以上，超過 AWD (O 3 )
Applied Catalysis B: Environmental, 39,
原收水標準 300 μs/cm. 157-165.
[3] Todor Batakliev, Vladimir Georgiev,
AWD (O 3 ) 來源水變異因子 此排水導電度變異，經分析機台 Metody Anachkov, Slavcho Rakovsky,
為確保 AWD (O 3 ) 來源水水質，對 AWD (O 3 ) drain 使用及排水特性發 Gennadi E. Zaikov (2014) Ozone
decomposition. Interdisciplinary
於機台排放水質異常追蹤案例， 現擴散製程機台排水閥件部份，如 Toxicology, 7, 47–59.

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 59