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差，故採用成本較低但具有耐臭氧
圖 2、活性碳顆粒表面電鏡圖
的 聚 氯 乙 烯 (PolyVinyl Chloride，
簡稱 PVC) 材質，而在閥件選用
活性碳 電鏡圖
上而言，來源水端，即活性碳塔
前，其因臭氧濃度相對較高，為
避免後續系統維護及安全風險考
量，則採用聚四氟乙烯 (Polytetra-
fluoroethene， 縮 寫 PTFE) 鐵 弗 龍
材質的閥件及馬達防震軟球。

來源水質穩定對於純水系統則是
相當重要，而機台所排放下來的
圖 3、活性碳處理單元示意圖
AWD (O 3 ) drain 雖為專管收集，但
機台保養維護或是異常處理時可能
P1 O3 drain RCW
會有其他高濃度化學品排入，為避
P2 O3 drain
免此問題發生影響純水系統，系統
必須針對來源水質進行監控。因此
Collection ACF
tank DIR UPW 系統在來源水收集前，於 AWD (O 3 )
排水主管上加設導電度計，即時進
行監控，一旦水值超過設定值則會
既有設備 新增設備 既有管路 新增管路
切換選別閥，將水切離至二級回收
水槽，以確保水質穩定。

圖 4、AWD (O 3 ) drain 活性碳塔處理前後臭氧濃度 (ppm) 因臭氧反應活性具有強烈的刺激
性，吸入過量對人體健康有一定危
8 害。它主要是刺激和損害深部呼吸
道，並可損害中樞神經系統，對眼
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睛有輕度的刺激作用。在安全設計
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上的考量，則是考慮氣體的危害，
處理前
2 處理後 例 如 AWD (O 3 ) drain 收 集 桶 槽 內
部 氣 體 溢 出、AWD (O 3 ) 液 體 外
0
11/1 11/4 11/7 11/10 11/13 11/16 11/19 11/22 11/25 11/28 洩…等都會造成臭氧氣體逸散至環
境中，造成人員吸入。基於以上考
量，於系統區增設環境臭氧偵測器
及警示燈，當臭氧環境中臭氧濃度
AWD (O ) 系統回收設計 drain，透過傳輸幫浦將水傳遞至 大於 0.1 mg/m ，系統則自動停止，
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活性碳塔，活性碳塔設計採用廠內 並將來源水切換至二級回收桶槽，
活性碳塔去除臭氧 既有回收水系統活性碳塔設計，線 第一時間降低危害擴大，至現場確
活性碳為黑色且「表面複雜的多孔 性流速 (Linear velocity) 設定為 15 認完且無洩漏之虞，再進行系統復
性物質」，主成份為碳，並摻有少 m/sec， 圖4 顯示處理後的水質經 歸。
量的氫、氧、氮、硫等化合而成， 長期檢測後發現臭氧濃度可降低至
結構則為碳所形成的六環狀物，活 0 ppm，達到完全去除的目的，而 效益及運轉成本評估
導電度及總有機碳濃度亦可穩定達
性碳本身比表面積相當大，內部是 整體運轉成本，包含水─活性碳塔
到 DIR 允收的標準，因此將活性碳
多孔的，孔內有許多的毛細管，而 反洗水、氣─乾燥壓縮空氣、電─
這些毛細管內表面及顆粒表面就是 處理後的 AWD (O 3 ) drain 導入 DIR 動力電使用以及保養維護等費用，
吸附作用之所在 圖2。 收集桶槽，進一步回收至純水系 而針對 AWD (O 3 ) 水質特性進行處
統。長期觀察純水系統機台端供應
活性碳具有去除氧化性物質的能 理系統設計進而回收至純水系統再
水質亦可維持在基準值。
力，當水通過活性碳，水中的臭氧 利用，量身訂做的活性碳塔，其本
將會被還原成氧氣，進而失去氧化 身為相當常見且容易取得的水處理
設備材質選用及安全設計
性，達到去除水中臭氧的目的。 濾材，其更換成本也相當便宜，不
因此建立活性碳塔處理 AWD (O 3 ) 在系統設計上而言，不選用一般水 僅僅大大降低運轉成本，整體估
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drain 為 主 要處 理 單元。 如 圖3 ， 系統常用聚丙烯 (PolyproPylene， 算而言，處 理 1 M 的 AWD (O 3 )
首先利用獨立桶槽收集 AWD (O 3 ) 簡 稱 PP) 的管 材， 因耐 臭 氧能 力 drain 僅需 NT 2.2 元，只需要自來

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2016 57