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目前十二吋廠所使用中的「交換式 Manifold Box，VMB)， 使 用 50W 統，當電源供應器異常立即影響
電 源 供 應 器 」（Switching-Mode 24VDC 2.1A 數量高達 568 顆。 PLC 控制氣動閥功能，常使氣化課
Power Supply，SMPS）， 轉 換 值班人員衝現場進行強供，以維持
如此大量的直流供應器在線上使用
方式屬於交流電轉直流電（AC / 化學品持續供應。
如果缺少定期檢驗，勢必只能在系
DC），也就是俗稱的直流電源供
應器，進行統計與調查其結果如 統發生問題時，才被動發現原來是 本文即以此為發想，透過不良品的
表1 所示，使用數量最多為氣化 電源供應器故障所導致。舉例最常 故障模式分析，找出可能的異常因
課所屬的「特氣分流閥箱」(Valve 發生故障即在無塵室內的 VMB 系 素，並設計一套模擬衰減實驗進

於南科廠務負責低壓二次配，在工作中找
峰 豪
尋樂趣，創造新價值，
樂於解決各種電力電子相關疑難雜症，感
謝一路帶領我的長官與同事們。

許 Edward Hsu

300mm FABS FACILITY JOURNAL MARCH 2017 43