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圖 9、脫氣膜清洗流程

脫氣膜
外觀檢查

清洗前 (未來仿照氨氮處理系統，
溶氧去除率測定 通以純氨水測氨氮去除率)

入酸 (32% HCl 稀釋為 2-3% 循環 60-90 min)
漏水測試
(5 min)
靜置 (18-24 hr)

再循環 (5-20 min) 水 洗 入水 (40-45°C HOT DI 循環 50-70 min)

排液 (5-10 min) 水測酸洗 水洗 (60-120 min, pH = 中性)

水洗 (60-120 min, pH = 中性) 流量及
酸側水洗 壓力測試 (13.5-16 CMH, <1.7 kg/cm 2 )
流量及 (18-21 CMH, <1.2 kg/cm ) 2
壓力測試
清洗後 (未來仿照氨氮處理系統，
溶氧去除率測定 通以純氨水測氨氮去除率)

漏水測試
(5 min)

完成

測 (NH 3 、Fe)，並每月定期針對線 統皆失效，脫氣膜通量下降或去除 參考文獻
上運轉脫氣膜 Off-line 取樣檢測進 效率漸差，為防止脫氣膜仍繼續運 [1] 傅正貴、王俊元、李明利，氨氮廢水處
出口氨氮差值，有效掌握單支脫氣 轉，超過容許負荷極限，造成無法 理方式之探討專題報告 (2013)。
[2] 新竹科學工業園區新竹園區下水道可容
膜去除效率，再利用線上儀器即時 修復之損壞，藉由脫氣膜提早清洗 納排入水質標準 (2014 年 7 月 10 日 )。
監控水質變化 (H 2 O 2 、Cl 2 )，將所有 保養參數的建立來控管停損點。 [3] 丁瑞華、陳國益，半導體廠鹼性廢水
的回收與資源再利用技術，新工季刊
會造成脫氣膜運轉周期衰退，及可 綜合以上三道防禦指標，以十二吋 Vol.07 (2012)。
[4] 李玫、傅正貴、王俊元，創新氨氮廢水
能損壞脫氣膜之物質擋住。 單一試行廠為例，實際應用於脫氣 資源化，新工季刊 Vol.14 (2014)。
膜管控，氨氮系統運轉至今兩年 [5] 兆聯實業股份有限公司，氨氮脫氣膜異
常及損壞照片與損壞分析報告。
多，脫氣膜損壞率仍維持 0%，顯 [6] Liqui-Cel® Membrane Contactor. 氨氮
運轉參數
示目前防禦手法確實可有效降低脫 脫氣膜結構照片。
第二道防禦，建立關鍵的主要影響 氣膜損壞率。
參數，脫氣膜運轉最怕阻塞及去除
未來可以三大防禦指標為基礎，整
效率不佳，藉由通量、壓力及濾心
合所有十二吋廠水質條件、運轉數
壓差設定值的建立，及線上氨氮分
據及保養資料，建立脫氣膜運轉資
析儀去除效率的監控，當第一道防
料庫，藉以比較各廠之差異，並針
禦失手，還能由關鍵的參數隨時掌 對各廠遇到不同的脫氣膜問題及異
握脫氣膜運轉狀況，避免災害擴 常事件，進行故障排除且分享資料
大。 學習，強化脫氣膜異常處理能力，
縮短氨氮系統異常行為模式與外排
放流水影響時間，使防禦指標成為
保養
脫氣膜運轉之保護傘，發揮脫氣膜
第三道防禦，為脫氣膜最後一道重 效率極大化，達到永續運轉之目
要防禦，目的是當前面兩道防禦系 的。

300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 67