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Reverse Flush
Strategy
Analysis of Reverse Osmosis
in High Concentration
Wastewater Environment
逆滲透膜於高濃廢水下
之反向流交互產水操作策略
對半導體製造業大廠而言，水資源高度依賴與廢水排放品質，視為汙染減量與環境改善之標竿，2016 年新
設之逆滲透二段濃縮處理設備，負責進階回收內含氫氟酸廢水與廢氣洗滌塔廢水之逆滲透濃縮廢水，該廢
水導電度極高，並內含多種化合物，於高濃度下逆滲透膜阻塞頻繁，造成壓差上升、處理流量與脫鹽率下
降之負面影響。今利用逆滲透反向沖刷清洗裝置於設備定期運轉切換時進行自動沖洗作業，以減緩內部阻
塞情形，延長逆滲透膜使用週期，實測顯示可有效降低逆滲透膜之更換頻率接近一倍之多，並減少人力負
擔與降低運轉風險。
關鍵詞/ 廢水回收、逆滲透、反向流沖刷
Keywords/ Wastewater Reclaim, Reverse Osmosis, Reverse Flush
文│蔡宇軒 王世民│竹科廠務三部│
前言 幅降低水資源消耗的目的。於源頭機台端開始，
對於不同步驟間使用的化學品差異，廢水排水依
其水質特性與主要化學成分以獨立專管收集，由
隨著近年來國人環保意識抬頭且水資源時空分配
專為其廢水特性所設計之廢水處理與回收處理系
極度不均之環境下，台灣正面臨水源短缺危機的
統，將處理完成乾淨之回收水，再供給於製程或
種種挑戰，對於半導體製造業大廠而言，大量的
其他次級用途。
原水需求量於乾季缺水風險下將首當其衝，勢必
得尋找其他節水解決方案。台積公司於水資源管 隨著製程世代的不斷演進，晶圓製造的單位面積
理政策上除了推廣降低單位產品使用的用水量之 用水量因先進製程的複雜度增加明顯隨之上升，
外，並在有效率的水資源管理平台上做好製程省 且所使用之化學品的多元化，驅使廢水內含成分
水，與不同種類廢水精細的回收再利用，達到大 更加複雜，為了追上原物料使用種類上的快速增
台大生工所畢業，廠務端回收水系統負責人。 氣候變遷和公司對社會承諾及自我要求，水回收
宇 軒 進入台積已近三年，持續不斷的系統改善是 世 民 的挑戰也越來高，在高水回收率所衍生的另一個
廠務精進的原動力。Not only operation, but 王 S.M. Wang 問題就是放流水量減少使得水中汙染物濃度提高
also innovation，讓大家看見廠務的價值。 ，因此對於新的處理技術的引進也勢在必行。
蔡 Yu-Hsuan Tsai
300mm FABS FACILITY JOURNAL SEPTEMBER 2017 69
