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表 1、SMP 套圖通用規則及提醒事項

項目 SMP 套圖通用規則與提醒事項 適用區域

1 MOVE-IN動線空間內禁止任何設備及管路侵佔 ALL

2 剖面上規劃之管路空間，禁止其他管路、設備、SUPPORT等侵佔 ALL
3 非剖面圖上固定於共同管架之管路，禁止固定在共同管架 ALL
4 設備及管路設置位置，需符合TSMC及法規標準，由各系統廠商自行檢核。(如可燃性管材不可穿MFL等類似規定) ALL
5 套圖完成後各系統廠需確認設備MOVE-IN動線是否能滿足需求 ALL

6 管路套圖不得截斷門框立柱，若為必要需事先請建築師修改立柱設計 ALL
7 管路間間距，需符合法規及施工需求，由各系統廠商自行檢核 ALL
8 IE BLOCK LAYOUT & STK下方高架地板內，禁止任何管路侵佔 C/R

9 高架地板腳柱斜撐需於套圖時避開管路位置 (C/R套圖需標示斜撐位置) C/R
10 高架地板收邊腳柱需於圖面標示，若管路無法避開，收邊地板之固定方式需修改設計 C/R
11 爐管的挑高區，需設集風罩專用區，FFU &燈具需避開 C/R
12 設備工具櫃/緊急應變櫃/AMHS電盤等應納入整合圖 C/R

13 HOOKUP ZONE禁止任何管路侵佔，SUPPORT及垂直管路除外。(USF/CSF樑下30~60cm為HOOKUP ZONE) USF / CSF
14 洞孔下方投影線範圍，含CLEAN / UTILITY SUBFAB，禁止任何管路侵佔 USF / CSF
15 SUBFAB內之風管上方，禁止安排150A以上之消防管路 USF / CSF

16 SUBFAB電燈位置也須繪製於公版剖面上 USF / CSF
17 SUBFAB電力/弱電/消防電等EMT管配置規則，與SUBMAIN平行需貼樑，與SUBMAIN垂直之EMT管頂與離樑下12~15CM USF / CSF
18 共同管架unistruct必需做到底板 USF / CSF
19 門型架中間不要有消防主管 (施工工序考量消防管與共同管架可同時施工) USF / CSF

20 sub fab電燈：閃pumping line、黃光區busway下方、緊貼AAS或電力 USF / CSF
21 SUBFAB內喇叭、CV、緊急照明、接地箱、插座設計於在同一柱面為原則 USF / CSF
22 GAS & CDS VMB以面對HOOKUP走道為原則 USF / CSF

23 Etch區 VMB/P擺法：柱面上、loader porrt下方若無柱可以放落地型VMB USF / CSF
24 黃光區 CDS VMB擺法： Scanner、tracker機台下方不可放、Coater區柱面可放、其餘可放於loader port非機台下方位置 USF / CSF

在 50 件以內，且大多屬於施工錯
誤產生，說明在南京專案投入更多
的時間後，依標準程序執行 圖5 ，
在圖面上的整合，仍可達到相當的
完成度。執行南京專案後的感想是
「人在屋簷下、不得不低頭」，愈
快了解當地的法規、適應當地人文
個性，能愈容易推動工作，朝計劃
的目標前進，因此低頭能讓工作更
順利，低頭又何妨。

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 63