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前言 時間，主要是看施工銲接速率。 PCW 銲工最大進場施工人員約 40
以 PCW 管路安裝來分析 表1 ，二 人，以正常施工效率 ( 一個月以 25
個有經驗的專業銲工，平均五天可 天計算 ) 一個月約可完成 100 台機
製 程 冷 卻 水 (Process Cooling 完成一台機台之 PCW 管路系統， 台，已無法滿足裝機需求速度。
Water, PCW) 為半導體機台設備冷 一個月可完成約五台機台。若以中 有次在半導體展參展中，發現了新
卻使用，廠內均使用 SUS304 金屬 科擴建廠區為例，裝機最大量平 的管路安裝工法：Evans Presslok
管材來做為循環液體的傳輸管路， 均 (2016/10~2017/02) 每 月 進 金屬管路壓接工法，其工法操作簡
以避免因長期溫度與壓力造成管路 機量約 217 台 (有 PCW 需求機台 單，且可有效縮短目前金屬管路傳
損傷而洩漏。而金屬管材接合完成 約 151 台 )，而當時中科擴建廠區 統銲接的施工時間，並且國外半導

2003 年加入台積，經歷三廠設備維修機台經 於 2000 年加入台積，經歷氣化課之氣體 / 化學供
政 傑 燕 桐
驗，2011 年加入並參與中科 F15A/B、CP03 高 Jason Kao 應系統管理，現負責廠區裝機工程管理，在最現代
等八座廠房裝機工程與 PCW 系統工程。 的十五廠區，期許自己可以學到更多新東西，讓自
陳 C.C. Chen
興趣 : 旅遊、看電影、慢跑。 己的思維更加豐富，帶來無窮的希望與未來。

300mm FABS FACILITY JOURNAL DECEMBER 2017 65