Page 104 - Vol.30

300mm FABS

FACILITY JOURNAL

Air pollution prevention JUNE / 2018

and energy saving challenge V

for next generation 300mm F ABS F ACILITY JOURNAL NEW FAB ENGINEERING L.30
O

隨著社會大眾對於環保議題的期待
TSMC / 300mm FD PUBLISHED URL.http://nfjournal/
及台灣本島面臨能源短缺問題
廠務工程師的工作除了穩定運轉外
滿足更高標準的空污防治需求
及更低能源消耗的廠務運作是我們要持續精進的目標
本期廠務季刊，觸角將延伸至綠色製造及循環經濟
廠務除了穩定供應高品質的水、電、氣、化外 下一個世代的
利用巧思來降低生產過程廠務端原物料的使用
更進一步回收外排廢水、廢酸中資源進行再利用 空污防治與節能挑戰
並包括系統的運轉經驗與思維分享
半導體業揮發性有機物高效率尾氣處理系統的設計挑戰與創新
The Challenge of Semiconductor VOCs Exhaust Treatment System & Innovation of High Removal E ciency

正負2℃―冰水系統最佳化控制創新方法
牽手愛地球，本刊物採用來自於良好管理 Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive
森林的環保用紙及無毒大豆油墨印製。 and Negative 2°C - Chilled Water System

封面圖片/下世代空汙防治與節能概念圖 影像製作與封面設計/洪湘寧 高效濾網於機台排氣粒狀物減量之應用
封底照片/中科十五廠三/四期揮發性有機物處理設備 攝影/曾俞勳
Tool Exhaust HEPA Retro t in Particulate Matter Reduction

Vol.
20
Vol.26

JUNE 2017
DECEMBER 2015

Fabs Facility Division