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vol.31

EDITORIAL 水氣化系統運轉生產力提升

BOARD 與自動化發展實務

發行人 Publisher
莊子壽 Arthur Chuang tschuang@tsmc.com
廠務生產力提升在這幾年同仁的努力下已經從原本
總編輯 Editor in Chief
范恩祖 E.T. Fan etfan@tsmc.com 的夢想漸漸凝聚成具體的想法，並逐步被實現。
主編 Managing Advisory 下期廠務季刊將跟大家分享這段時間竹科、中科、
洪男雄 N.H. Hung nhhung@tsmc.com 南科各個廠務團隊開發自動化技術、提升生產力的
美術主編 Art Director 成果。與其說是一個被設定好的題目，倒不如說是
洪湘寧 ViGi Hung vigi_hung@tsmc.com
一個水到渠成的結果展現。文章將分享如何透過製
編輯顧問 Editorial Advisory 程優化讓液中求銅的產銅效率更好，此外同仁透過
薛仁猷 J.Y. Hsueh / 陳鏘澤 Tony Chen
數值分析與模擬設計研磨液循環系統取代手動操作
陳勇龍 YungLong Chen / 江世雄 S.H. Chiang
洪永迪 Eddy Hung 的搖搖機(shaker)，還有先進製程含鈷廢水回收的

編輯委員 Editorial Board Members 處理方法探討，達成高純度鈷棒回收目標，敬請讀
李靜怡 Marie Lee / 林素芬 Sophie Lin
者期待。 ――主編/尤國男
鄭昭平 Tim Cheng / 李明利 M.L. Lee
歐人華 J.H. Ou / 林韋志 W.C. Lin
呂孟倉 Meng-Chang Lu / 王若杰 Rouh-Jier Wang
張丁興 Deacon Chang / 李昇修 Sean Lee
黃昭文 Jau Wen Huang

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300mm Fabs Facility Division
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出刊日期 中華民國107年6月
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